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  • 简介:氧化锌是一种性能良好的半导体材料,可以用作薄膜场发射阴极中的电子传输层材料.主要研究了用磁控溅射方法在不同衬底温度下生长ZnO薄膜的电学特性,分析了ZnO薄膜的电阻率和击穿场强随温度的变化关系.

  • 标签: 氧化锌薄膜 电阻率 击穿场强
  • 简介:摘要采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备ZnO薄膜.用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)对不同衬底温度下制备薄膜的相结构和表面形貌进行分析.结果表明,在衬底温度为500℃时制备的ZnO薄膜表面光滑,晶粒尺寸均匀,结构致密,且沿c轴择优生长。

  • 标签: ZnO薄膜 射频磁控溅射 衬底温度
  • 简介:摘要随着现代集成电路的发展,提出了要以其他具有高介电常数的材料来代替SiO2,高K氧化物材料成为这一领域热门研究方向。HfO2材料作为SiO2最好的替代物,与硅基电路集成时有良好的兼容性。相比较于传统的铁电材料,经过特殊处理的HfO2基薄膜同样具备铁电性。这样,传统的铁电材料有望突破制约非易失性铁电存储器发展的材料瓶颈。本论文以探究HfO2薄膜质量为背景,以射频磁控溅射法制备HfO2薄膜,通过使用X射线衍射仪(XRD)对薄膜的物相组成与结晶情况进行表征分析,SEM表征薄膜样品的表面形貌。

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  • 简介:通过直流磁控溅射法在玻璃衬底上制备了一系列铝掺杂氧化锌透明导电薄膜,研究了氧气分压和衬底温度对铝掺杂氧化锌透明导电薄膜的结构和光电性能的影响。X-射线衍射研究表明铝掺杂氧化锌薄膜是沿c-轴方向堆积的具有六方结构的多晶薄膜,实验获得的最佳沉积衬底温度和氧分压分别为400℃和5∶100(O2/Ar),在该条件下制备的铝掺杂氧化锌薄膜具有较低的表面电阻(<80Ω/sq)和较高的平均透过率(>80%)。

  • 标签: 铝掺杂氧化锌薄膜 磁控溅射 氧分压 沉积温度 透明导电薄膜
  • 简介:<正>据日本媒体NihonKeizaiShimbun报道,日本有色金属制造商DowaMin-ing有意批量生产蓝宝石基的GaN衬底材料。总部位于东京的Dowa公司将与名古屋工业大学合作开发上述产品,某些技术将由NGKInsulators公司提供。Dowa公司预计向这个新项目投资超过4600万美元,在2007年财年一开始就投入量产,并预期在2008财年期间产品的销售收人达到9000万美元左右。

  • 标签: Dowa GAN 批量生产 衬底材料 石基
  • 简介:本发明涉及一种用于制造半导体层或器件的衬底的制造方法,包括下述步骤:提供包括适合作用于CVD金刚石合成的衬底的至少一个第一表面的硅晶片;在所述硅晶片的第一表面上生长具有预定厚度并具有生长面的CVD金刚石层;将硅晶片的厚度减少至预定水平;以及在所述硅晶片上提供第二表面,

  • 标签: 金刚石合成 电子器件 衬底 制造方法 硅晶片 半导体层
  • 简介:<正>Berkeley实验室的研究人员在Si衬底上采用氮化铪(H_fN)中间层生长出优良结构和光学质量的GaN膜。这些研究人员还建立了在Si上淀积H_fN和在H_fN上淀积GaN的工艺参数。用Si衬底而不用蓝宝石衬底来生长GaN提供了很大的成本优势,并提供了GaN基器件与常规Si电子器件单片集成的可能性。

  • 标签: GAN 氮化铪 淀积 BERKELEY 光学质量 工艺参数
  • 简介:本文阐述了ULSI硅衬底片清洗的重要性,介绍了目前世界上采用的各种清洗方法(湿法、干法、超声、激光等)的概况,并通过理论分析及清洗实验研究找出适用于工业规模应用的硅片清洗液和清洗技术.

  • 标签: ULSI 衬底单晶片 清洗方法 表面活性剂 兆声清洗
  • 简介:摘要:随着社会经济的不断发展,能源的需求量不断增加,为了能够将有效降低能源的损耗,实现能源的可持续发展目标,我国对于节能环保事业的发展尤为的关注。基于科学技术的发展,我国在照明领域开展的环保事业发展取得了一定的成就。例如LED的研发和应用,其在使用的过程中不仅节能环保,同时也体积比较小,且功能时效时间比较长,与普通的照明源对比来讲更具有发展前景。经过技术研发人员的不懈努力,找到了一种能够有效提升LED出光率的新技术,即通过蓝宝石图形化衬底实现LED高出光率的目标,为LED广泛应用于多个领域地奠定了坚实的基础。本文通过对蓝宝石图形化衬底提升LED出光率的机理、表面微结构对LED发光率的影响进行了分析,并探讨了LED蓝宝石图形化衬底的制作过程。

  • 标签: LED 蓝宝石图形衬底 制备工艺
  • 简介:柔性互联供应商Parlex公司日前与英飞凌科技(InfineonTechnologles)宣称,双方成立一家合资企业将合作生产和销售用于安全移动电子识别产品的衬底

  • 标签: 产品 电子识别 供应商 上海 公司 合资企业
  • 简介:LiGaO2与GaN的晶格失配率只有0.2%,是一很有潜力的蓝光衬底材料。本文利用化学侵蚀、光学显微镜、透射电子显微镜对晶体中的缺陷进行了分析,研究了生长参数、原料化学配比对晶体质量的影响及其和晶体中缺陷形成的关系。TEM分析表明,由于原料近非化学计量比挥发致使组份偏离,容易产生γ-Ga2O3包裹物。包裹物和位错形成具有一定的相互促进作用。X射线貌相分析发现提拉法生长LiGaO2晶体中易于形成平行于(001)面的亚晶界,这可能和其沿[001]方向的极性有关。

  • 标签: GAN 外延衬底材料 LiGaO2晶体 X射线貌相术 氮化镓 TEM
  • 简介:系统地分析了蓝宝石抛光工艺过程的性能参数,通过大量实验总结出了其影响因素并提出了优化方案。结果表明,采用粒径为40nm、低分散度的SiO2溶胶磨料并配合以适当参数进行抛光,可以获得良好的表面状态和较高的去除速率,能够有效提高蓝宝石表面的性能及加工效率。

  • 标签: 中文关键词 蓝宝石 化学机械抛光 纳米硅溶胶
  • 简介:在450℃反应温度下,利用无水三氯化铝与叠氮化钠在25mL的不锈钢反应釜中直接反应,成功地在硅片衬底上制备了六方单晶氮化铝(h—AlN)纳米线有序阵列。这些纳米线呈长直线状,粗细均匀,直径约为100nm,长度均在几个微米以上。所有纳米线生长方向一致,而且与硅片衬底垂直。经过分析,纳米线由气液固机制生长而成.

  • 标签: 六方单晶氮化铝 纳米线阵列 气液固机制
  • 简介:教学内容:北师大版《义务教育课程标准实验教科书·数学》四年级上册第87页。教学目标:1.知识与技能:结合现实生活中气温变化的实际情况,认识温度计;了解表示温度的单位——摄氏度,能正确读写温度;会比较两个温度的高低,感受零度是零上和零下温度的分界线,初步理解零上和零下温度是相反意义的量。2.过程与方法:借助熟悉的生活情境,结合实际生活中气温的变化体验零摄氏度的重要性,做好负数学习的前期渗透;在学生的实践亲历与合作探究过程中直观感受温度的意义。3.情感、态度与价值观:结合具体的情

  • 标签: 实录评析 教学实录 温度教学
  • 简介:寒冷的冬季终于过去了,温暖的春光洒满了正在复苏的滨城。海风尽情地吹拂着前来赶海的弄潮儿,那些坚持冬泳的健儿们,展露健美的英姿,毫不犹豫地冲向大海……那么,在这明媚的季节里,让我们的大脑活跃起来,一块到侦探推理的题海中搏一搏吧!

  • 标签: 滨城 喊叫声 花板 展望未来
  • 简介:从理论上研究了纸张背衬不同衬底的光反射率,得出下列表达式:Rb=Ra+(Rx-Ra)×(1/Rx-Ra)/(1/B-Ra)(B为衬底的光反射率),该式简单实用且物理意义明确。利用上述公式,可将Tappi标准刊出的Tappi不透孵度C0.39的换算公式简化,并可从理论上定性地讨论纸张不透明度与印刷透印性的关系。

  • 标签: 纸张 Tappi标准 印刷 不透明度 换算公式 实用
  • 简介:尝试用热丝化学气相沉积工艺(HFCVD)在铁衬底上合成金刚石。通过喷嘴向铁衬底上喷射源气体,可在大气压下合成金刚石。金刚石晶粒尺寸在180分钟内可生长到约20μm。用本工艺合成的金刚石只含有少量非金刚石碳。同铁衬底的情况一样,喷射源气体也有利于硅片上的金刚石合成。

  • 标签: 热丝化学气相沉积 铁衬底 金刚石 源气体喷射