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衬底温度对氧化锌薄膜电学性质的影响

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摘要氧化锌是一种性能良好的半导体材料,可以用作薄膜场发射阴极中的电子传输层材料.主要研究了用磁控溅射方法在不同衬底温度下生长ZnO薄膜的电学特性,分析了ZnO薄膜的电阻率和击穿场强随温度的变化关系.

DOI y2d37e1849/213167

作者潘志峰 ;袁一方 ;李修善

机构地区不详

出处《光学与光电技术》 2004年5期

关键词氧化锌薄膜电阻率击穿场强

分类 [机械工程][光学工程]

出版日期 2004年05月15日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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光学与光电技术

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