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蓝宝石衬底的化学机械抛光工艺研究

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摘要系统地分析了蓝宝石抛光工艺过程的性能参数,通过大量实验总结出了其影响因素并提出了优化方案。结果表明,采用粒径为40nm、低分散度的SiO2溶胶磨料并配合以适当参数进行抛光,可以获得良好的表面状态和较高的去除速率,能够有效提高蓝宝石表面的性能及加工效率。

DOI wjv53z89d7/554998

作者赵之雯

机构地区不详

出处《纳米科技》 2007年5期

关键词中文关键词蓝宝石化学机械抛光纳米硅溶胶

分类 [一般工业技术][材料科学与工程]

出版日期 2007年05月15日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）