简介:摘要:对工业硅生产精炼区设备配置进行了研究,分析了设备的整体布局,着重对钢丝绳传动的选择以及钢丝绳导向轮的设计进行了探讨,旨在为人们提供一种工业硅设备布局的整体思路及重要机械传动和机械设备的设计分析。
简介:摘 要 : 电子级多晶硅金属杂质含量是评价其产品质量的重要指标之一,其杂质含量的高低直接影响下游晶圆制造产品质量,所以对其制造过程的金属杂质含量的控制至关重要,本文主要从制造无金属污染的自动设备的技术指标和设计难点入手,研究了多晶硅表面金属污染的成因,然后分析了控制金属污染的技术,设计了无金属污染自动化设备。最后,为金属杂质含量的控制提供了重要的技术及设备。