简介：MEMS（Micro-Electro-MechanicalSystems，微机电系统）是将微型机械、微型执行器、信号处理和控制电路等集于一体的、可批量制作的微型器件或系统。MOEMS则是Micro—Opto—Electro-MechanicalSystem的缩写。把微光学应用到微机电系统中，这是MEMS在光通信中的重要应用。微光电机械芯片通常是指包含一个以上微机械元件的光系统或光电子系统，其应用将遍及光通信、光显示、数据存储、自适应光学及光学传感器等多个方面。

简介：在柔性LCP基板上制备RFMEMS开关,加工难度较大,影响开关质量的因素较多。主要研究影响LCP基RFMEMS开关加工质量的主要因素,寻找工艺过程控制解决方案。通过对关键工序的试验,对加工过程中的基板清洗、LCP基板覆铜面镀涂及整平、LCP基板无铜面溅射金属膜层、LCP基板平整度保持、二氧化硅膜层生长及图形化、牺牲层加工、薄膜微桥加工、牺牲层释放等工序进行了参数优化。研制的LCP基RFMEMS开关样件频率≤20GHz、插入损耗≤0.5dB,回波损耗≤-20dB,隔离度≥20dB,驱动电压30~50V。该加工方法对柔性基板上可动结构的制造具有一定的借鉴价值。

简介：RFMEMS开关是用MEMS技术形成的新型电路元件，与传统的半导体开关器件相比具有插入损耗低、隔离度大等优点，将对现有雷达和通信中RF结构产生重大影响。文章介绍了RFMEMS开关的基本工艺流程设计，工艺制作技术的研究。实验解决了种子层技术、聚酰亚胺牺牲层技术、微电镀技术的工艺难题，制作出了RFMEMS开关样品，基本掌握了RFMEMS器件的制作工艺技术。RFMEMS开关样品测试的技术指标为：膜桥高度2um～3um、驱动电压〈30V、频率范围0～40GHz、插入损耗≤1dB、隔离度≥20dB，样品参数性能达到了设计要求。

简介：摘要模拟器对功耗有严格要求限定，为了进一步降低模拟器平视显示系统能量损耗，必须提出新的开关控制器来降低静电MEMS驱动器的能耗。在这种情况下，本文提出了一种在非连续导通模式下(DCM)强迫电路工作的谷开关控制器，能有效减小损耗。

简介：<正>00585UltraBroadbandMEMSSwitchonSiliconandGaAsSubstrates/R.Chan,R.Lesnick,D.Caruthetal(UniversityofIllinois,USA)//GaAsMANTECHConference.2003.—25报导了高可靠dc～110GHz低压毫米波GaAs与Si衬底MEMS开关的性能。当频率高至110GHz,该开关插损小于6dB,隔离度大于15dB,开关寿命大于6.9×10~9循环。文章还介绍了实现超宽带性能及高可靠性所采用的设计方法和制造方法。

简介：针对光栅光调制器阵列的显示控制,提出了一种控制系统设计方案。设计应用软件,产生显示数据源,由USB数据线发送到FPGA芯片,在FPGA芯片上实现格式转换、乒乓操作、脉宽调制等模块电路。实验结果表明,该控制系统操作灵活方便,为测试光栅光调制器的显示参数提供了有力的技术支持。

简介：光开关矩阵是智能光交叉连接设备和可重构光分插复用器核心技术,是构建自动交换光网络的基础。本文主要介绍了大规模商用的光开关矩阵的关键技术原理,并且详细分析了由技术原理所决定的性能指标。

简介：利用LiNbO3的电光效应,设计了一种新型的光开关.它不但避免了外加半波电压这一瓶颈,而且继承了传统开关开关速度快这一优点,为光通信和下一代全光网络提供了一种有效的光开关方案.

简介：速度和损耗是光开关的两项重要特性指标.文章在介绍SOI热光型和电光型开关工作原理的基础上,分析了波导层和埋层二氧化硅厚度、电极材料、载流子寿命以及掺杂、界面质量、模式失配度和对准性等等因素对于速度和损耗的影响,并相应的提出了一些改善方案.

简介：

简介：从控制和驱动电路设计者的角度,设计了Mach-Zehnder干涉仪型SOI热光开关的电学模型,对模型的电学特性进行的模拟及实验电路验证表明所设计的模型可以用来在电学实验中取代SOI热光开关,最后讨论了电学模型的应用.

简介：AreviewontheresearchofMicroElectromechanicalSystems(MEMS)technologybasedbiomimeticciliaispresented.Biomimeticcilia,enabledbytheadvancementofMEMStechnology,havebeenunderdynamicdevelopmentforthepastdecade.AfterabriefdescriptionofthebackgroundofciliaandMEMStechnology,differentbiomimeticciliaapplicationsarereviewed.Biomimeticciliamicro-actuators,includingmicromachinedpolyimidebimorphbiomimeticciliamicro-actuator,electro-staticallyactuatedpolymerbiomimeticciliamicro-actuator,andmagneticallyactuatednanorodarraybiomimeticciliamicro-actuator,arepresented.Subsequentlymicromachinedunderwaterflowbiomimeticciliamicro-sensorisstudied,followedbyacousticflowmicro-sensor.ThefabricationoftheseMEMS-basedbiomimeticciliadevices,characterizationoftheirphysicalproperties,andtheresultsoftheirapplicationexperimentsarediscussed.

简介：MicroandNanotechnologyareengineeringonanextremelysmallscale.Alreadytheyarebeingappliedtocreatemanynewproducts.Nanotechnologyispredictedtobecomethebasisforremarkablypowerfulandinexpensivecomputers,fundamentallynewmedicaltechnologiesthatcouldsavemillionsoflives,sensorsimportantinmilitaryapplicationaswellasenvironmentalprotection.Themainaimofthisreviewistoconcentrateinformationfromdifferentprintedandonlinesourcesandhelptomakearightdecisioninverydynamicsensormarketaswellasletknowwhatweshouldexpectinthenearestfuture.

简介：<正>MEMS智能化时代的核心交互器件。MEMS(微机电系统)是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。在智能化"感知"时代,MEMS以其体积小、功耗低、灵敏度高等优点,成为智

简介：PolysiliconMicroelectromechanicalsystems(MEMS)arethesubjectofintensiveresearches.SurfacechemistryandtopographyofaMEMSteststructurefabricatedatSandiaNationalLaboratory,USA,werestudiedbymeansofscanningelectronmicroscopy(SEM),X-rayphotoelectronspectroscopy(XPS)andatomicforcemicroscopy(AFM).XPSC()andSi2,spectrafromthepolysilieoncomponents,siliconnitridesubstrateandareferencesiliconwaferwerecompared.Theresultsconfirmthepresenceofaself-assembledmonolayer(SAM)ontheMEMSsurface.Anisland-likemorphologywasfoundonbothpolysiliconandsiliconnitridesurfacesoftheMEMS.Theislandstaketheformofcaps,beingupto0.5μmindiameterand20nminheight.Itisconcludedthattheco-existenceofcolumnargrowthandequiaxedgrowthduringthelowpressurechemicalvapordeposition(LPCVD)oftheselayersleadstotheobservedmorphologyandtheislandsarecapstothecolumnarstructures.

简介：

简介：采用飞秒激光激励光导开关能够产生脉宽皮秒甚至亚皮秒级的太赫兹脉冲，近年来，这项技术成为校准宽带示波器上升时间的有效手段。以低温生长砷化镓（LT-GaAs）为光导开关的基底，在飞秒激光激励下产生太赫兹脉冲，经共面波导传输，通过微波探针耦合为1．85mm同轴输出，然后利用带宽70GHz的取样示波器对其半幅度宽度进行测量。实验获得太赫兹脉冲的半幅度宽度（FWHM）约为7．4ps。

简介：摘要随着我国社会的不断发展，网络技术也进一步被应用，光通信技术与其融合便显得异常的重要。而光开关技术作为光通信当中的一个重要组成部分，其在光网络保护倒换领域、光纤测试领域、自愈环组网领域等中有着广泛的应用前景。加之现阶段我们国家的各个行业对于光开关技术的研究都保有极大程度的注意。所以光开光技术在近几年的研究过程当中将会具有很大的研究前景。基于此，本文立足于网络技术大环境，对光通信网络中的光开关技术进行了简要的研究。

简介：摘要自动光交换网络是光网络的发展趋势，其核心技术是光开关矩阵。光开关矩阵是智能光交叉连接设备和可重构光分插复用器核心技术，是构建自动交换光网络的基础。对于相关领域科研工作者和同行业工作人员具有十分重要的参考意义。

简介：本文通过D触发器自身的特点实现光开关硬件切换功能。对于光纤通信可以通过这种方式实现光路备份,减小通信故障的时间,对于通信保障的实际应用具有一定的意义和价值。