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MEMS光开关的控制

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摘要 MEMS（Micro-Electro-MechanicalSystems，微机电系统）是将微型机械、微型执行器、信号处理和控制电路等集于一体的、可批量制作的微型器件或系统。MOEMS则是Micro—Opto—Electro-MechanicalSystem的缩写。把微光学应用到微机电系统中，这是MEMS在光通信中的重要应用。微光电机械芯片通常是指包含一个以上微机械元件的光系统或光电子系统，其应用将遍及光通信、光显示、数据存储、自适应光学及光学传感器等多个方面。

DOI odwlym0e4k/446732

作者

机构地区不详

出处《电子元器件应用》 2006年7期

关键词 MEMS光开关控制电路微机电系统光学应用微型执行器 MICRO

分类 [电子电信][电路与系统]

出版日期 2006年07月17日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

电子元器件应用

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