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MEMS技术应用日趋广泛

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DOI 6jr26zgy45/1415187

作者莲玉

机构地区不详

出处《电子电路与贴装》 2002年2期

关键词 MEMS技术应用微电子机械系统

分类 [电子电信][电路与系统]

出版日期 2002年02月12日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

电子电路与贴装

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