简介：

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简介：过去几年中,微机电系统(MEMS)一直被认为是光传输系统MEMS技术的波长选择性交换结构及其交换原理,分析其可靠性并讨论在全光网中的应用.

简介：SiliconLabs（芯科实验室有限公司）日前宣布推出业界最高集成度基于MEMS的Si50x振荡器，旨在替代需要低成本、低功耗和批量生产的工业、嵌入式和消费类电子应用中的通用型晶体振荡器（XO）。新型Si50x振荡器基于SiliconLabs专利的CMEMS@技术，此为首个在大批量生产中把MEMS架构直接构建于标准CMOS晶圆（Wafer）上，从而获得完全集成的高可靠“CMOS＋MEMS”单芯片解决方案。

简介：摘要模拟器对体积有严格要求限定，为了进一步推动模拟器平视显示系统集成，必须提出新的方法来产生静电MEMS驱动器所需的高电压，以满足模拟器平显系统的体积和功率要求。在这种情况下，本文提出了一种增强型拓扑结构耦合电感，它可以将3.7V的电池电压转换为150V到300V的输出电压，适用于便携式应用中静电驱动MEMS的输入电压。

简介：摘要：直线滑轨试验台试验结果表明，位移测量系统体积小、可靠性高、精度高，而且能准确反映运动载体直线运动状态，在引信定距、车载导航、飞机器惯导、智能电子产品等领域具有广阔的应用前景。

简介：摘要：本文主要探讨了封装技术对传感性能的影响。通过理论分析和试验研究，得出了MEMS机油压力传感器的密封材料及其工艺过程对其性能和可靠性的影响。补丁胶粘剂的性能达不到可靠性的要求，会导致传感信号的漂移和温度的不稳定性；引线键合强度不高，在使用过程中容易发生断裂；硅油的化学稳定性和温度稳定性差，会导致传感器在高温时输出信号不稳定，硅油中的气体和杂质会导致传感器的零点输出偏差，从而影响传感系统的准确度。

简介：摘要：随着惯性导航技术在各领域的广泛应用，基于MEMS陀螺仪的姿态监测在航空航天、机器人等领域得到了广泛关注，本文设计并实现了一种基于MEMS陀螺仪的报警装置，采用MPU6050六轴运动传感器进行姿态检测，通过Arduino开发平台实现数据采集、滤波、融合计算等功能，该装置可以实时监测目标物体的姿态变化并根据预设阈值发出报警信号，可以应用于安全监测、姿态控制等领域，实验结果表明该装置具有良好的实时性和可靠性。

简介：摘要开关柜绝缘性能的分析和绝缘故障的诊断是实现开关柜电气设备状态检修的基础，是保证开关柜电气设备能够稳定、高效、节能经济运行的基础。在实践分析得知，35kV中压开关柜设备出现的故障与设备绝缘有着直接联系，在开关柜的运行过程中，内部电磁环境比较复杂，在电应力作用下，出现开关设备的绝缘劣化，造成设备单元的绝缘性下降，特别是机械力、热、电场等共同作用下，使得开关柜的绝缘性能下降，最后演变成绝缘故障。下面就基于作者实际工作经验，简要的分析35kV中压开关柜的绝缘技术，以供借鉴。

简介：摘要未来技术的发展方向是软开关技术，其主要的发展态势是轻量化、小型化。与此同时，对电磁兼容性与效率提出了较为严格的标准。应用软开关技术，其主要的价值是解决开关噪声与开关损耗的状况，以此提升开关的频率。文章是针对开关电源中软开关技术的应用，展开的深入全面的探究，并且提出相关建议，供相关人员参考。

简介：物联网（IOT）、智能硬件、汽车电子、工业4．0等给传感器带来了巨大的市场机遇。在结束的“第三届全球传感器高峰论坛暨中国物联网应用峰会”上，业内人士表示，基于巨大的机遇和碎片化的市场需求，MEMS传感器成为传感器发展的新机遇，专注服务中小公司的平台类公司开始不断涌现。

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简介：针对声矢量传感器姿态变化难以准确测量导致目标测向精度低的现状,设计一种微型MEMS姿态传感器,并将其封装在声矢量传感器内部,实现基于MEMS姿态传感器的声矢量传感器设计。首先根据声矢量传感器姿态测量与校正原理,采用四元数姿态解算方法及扩展卡尔曼滤波器设计MEMS姿态传感器,并对其进行姿态精度测试;然后基于MEMS姿态传感器进行声矢量传感器样机设计、制作、参数测试;最后对样机进行了海上实验,结果表明,通过姿态校正后声矢量传感器目标方位估计精度与GPS推算方位精度一致,验证了利用MEMS姿态传感器设计声矢量传感器的可行性。

简介：摘要随着微电子技术、集成电路技术和加工工艺的发展，MEMS传感器凭借体积小、重量轻、功耗低、可靠性高、灵敏度高、易于集成以及耐恶劣工作环境等优势，极大地促进了传感器的微型化、智能化、多功能化和网络化发展。MEMS传感器已逐步占据传感器市场，并逐渐取代传统机械传感器的主导地位，得到了消费电子产品、汽车工业、机械、医药等各领域的青睐。

简介：3-degree-of-freedom(3-DOF)的一个新分析模型旋转罗盘加速表系统由一个1-DOF驱动器和2-DOF感觉模式组成被介绍。模型构造微分方程由向量分析与系统的每DOF联系了的lumped。因此建立的联合微分方程是为他们在时间和频率领域的回答的解决的经分解。就这些频率反应方程而言，新奇设备设计概念被强迫感觉阶段到零导出，它导致在结构的频率之间的某个关系，从而在系统的表演上引起抑制效果的最小化。而且，现在的旋转罗盘加速表结构的可行性在他们的事件为旋转罗盘行动和线性加速的察觉用一个唯一的差别对待的计划被学习。这个计划把旋转罗盘加速表的提出的解决的短暂解决方案与同步解调和过滤的进程相结合，它导致同相并且系统输出的照部件发信号。这二个部件能在尖运动和线性加速的察觉被利用。获得的分析结果被模拟在MATLAB/Simulink环境验证，并且结果在对对方的优秀同意，这被发现。

简介：Torsionmicromirrorisakeystructureofopticaldevicesinmicro-electro-mechanicalsystem(MEMS),suchasMEMSopticalswitches,MEMSvariableopticalattenuator,MEMSscanningmicromirrorarrayandsoon.Asilicon-basedNiCrAuMEMStorsionmicromirroristheoreticallyanalyzed.Itisshownthatinordertohave15°rotation,thedrivenvoltageshouldbeabout20Vandthethicknessofthesupportingbeammustbecontrolledintherangeofsubmicronordersofmagnitude.Thisverythinbeammakesthestructuremoreunstableandunreliable,andalsomakesthefabricationmorecomplicated.Basedonparallelback-electrodeanalysisandtesting,atiltedback-electrodehasbeendesignedtoreplacetheparallelback-electrodeinordertodecreasethedrivenvoltageanddifficultyoffabricatingprocessing.Bytheoreticalanalysisandsimulation,aconclusioncanbedrownthatthethicknesscanbeimprovedfromsubmicrontomicronbyusingtiltedback-electrodewhenusingthesamedrivenvoltage.Tiltedback-electrodeisveryeffectivetoimprovethestabilityandreliabilityofthemicromirrorstructure.

简介：摘要概述微机电传感器的技术现状和在IESI中的应用。通过国外典型IESI产品，着重分析了IESI的组成原理、性能特点和微机电传感器的作用。研究表明包括高精度微机电惯性敏感器、微硅压力计在内的微型传感器开发是IESI的技术关键，国产化IESI设备在军/民用飞机中有广泛的应用前景。

简介：由于在产品尺寸、交付时间、供应稳定性、产品可靠性、器件尺寸和性价比等多方面存在优势，近几年来，微机电系统（MEMS）解决方案正在逐步打破石英晶体解决方案在频率控制和定时产品领域的完全垄断局面。随着SiliconLabs（芯科实验室有限公司）专利的CMEMS技术的采用，公司在一体化频率控制产品上获得巨大突破，通过在先进的混合信号IC之上直接加工谐振器，来获得完整的单片解决方案，这是真正的MEMS＋CMOS协同设计。

简介：摘 要： 本文提出了一种新型 MEMS共面波导移相器的设计结构，旨在缩短传输线的长度，降低设计复杂度。本文提出了对称双桥膜结构在相同的传输线长度下，可以获得近两倍的相移量。然后，在桥膜两端加一分立电容，进一步增大了对称双桥膜的相移量。为 MEMS移相器的设计优化提供了一个可行的新思路和方法。

简介：<正>根据市场研究机构YoleDevelopment的最新统计数据,全球前二十大微机电系统(MEMS)代工厂的2011年合并营收较2010年成长了5%,超越6亿美元;不过代工业务在整体MEMS市场所占据的比例仍然相对较小。根据Yole统计,2011年全球MEMS市场规模为102亿美元,年成长率19%,而MEMS代工厂营收在其中占据的比例呈现减少趋势。