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MEMS前景看好道路曲折

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摘要 <正>MEMS智能化时代的核心交互器件。MEMS(微机电系统)是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。在智能化"感知"时代,MEMS以其体积小、功耗低、灵敏度高等优点,成为智

DOI kd2m2emrj6/1572586

作者赵佶

机构地区不详

出处《半导体信息》 2014年1期

关键词道路曲折 MEMS 微型机电系统微机电系统执行器接口电路

分类 [电子电信][物理电子学]

出版日期 2014年01月11日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

MEMS前景看好 道路曲折