简介：摘要微机电系统(microelectromechanicalsystem，MEMS)继电器具有体积小、功耗低、响应快、隔离度高、负载能力强等优点成为下一代继电器的研究热点。本文主要调研了MEMS继电器的典型结构与研究现状，并对各种结构进行了分析。
简介：嵌入式ARM9处理器具有高速、稳定、功耗低、简单易用、接口丰富等特点，在智能仪器设备中得到广泛应用。采用ARM9处理器与MEMS器件设计的惯性导航系统不但可以满足导航系统对小体积、低功耗等的要求，也可满足导航系统对于高处理速度、高实时性的要求。
简介：摘要电子洁净厂房作为国内建设的新兴厂房，其面积和复杂程度较之以前都有了很大的提升，其特殊的生产工艺以及作为大空间建筑使建设面临着许多以前从未遇到过的挑战。消防作为保障生产以及建筑物和使用人员安全的关键，本文以中芯绍兴MEMS和功率器件芯片制造及封装测试生产基地项目为例，对该项目的防火分区以及安全疏散两方面进行了探讨，旨在为大型电子洁净厂房消防设计提供参考。
MEMS继电器分类与应用现状
基于MEMS的惯性导航系统研究与设计
电子洁净厂房消防设计难点与优化对策应用实例研究——以中芯绍兴MEMS和功率器件芯片制造及封装测试生产基地项目为例
