简介：摘 要 MEMS陀螺仪作为低成本惯性测量单元在载体姿态监测与导航控制中有着广泛应用。根据三轴光纤陀螺仪标定的数学模型，设计了三轴 MEMS陀螺仪标定的数学模型及标定实验；介绍了数学模型中陀螺仪标度因数、安装误差系数以及固定常值漂移的计算与处理方法。理论分析与实验结果表明：该标定方法原理简单、易于实现，且标定结果精度高，标定后的解算矩阵可为后续姿态解算和导航控制提供较为准确的量测数据。

简介：摘要MEMS中融合了微型执行器、微型机械以及控制电路、通信接口、信号处理等功能，MEMS技术在电子通信中，不仅可以提升电子通信效率，同时也是创新电子通信产业的关键。

简介：摘 要：小波分析理论是近年来才发展起来的一门新的理论，由于可使待分析的函数时域与频域局部化，而且时窗和频窗的宽度与高度可调，它能根据信号和噪声在小波域具有不同的特征表现，将有效信号和噪声分离，显示出良好的消噪效果。多分辨逼近（ MRA）为小波分析提供了理论支撑，而 Mallat算法类似于快速傅里叶变换为其推广和应用提供了可能，使小波变换成为了继傅里叶变换后又一次革命性的滤波算法。本文利用小波分析来对 MEMS IMU的零位漂移进行滤波，进一步提高 MEMS IMU的零偏稳定性和精度，仿真和试验结果取得了较好的效果。

简介：摘要：基于MEMS陀螺仪的姿态测量系统在众多领域，如航空航天、汽车、消费电子等，发挥着至关重要的作用。而随着技术的进步，MEMS（微电子机械系统）陀螺仪因其体积小、成本低和功耗低等优势，成为了姿态测量的首选技术。因此，本研究旨在深入探讨MEMS陀螺仪在姿态测量系统中的应用现状，包括其硬件和软件的开发与优化。硬件开发重点关注MEMS陀螺仪的设计、集成和性能调优，而软件开发则着重于数据处理算法和用户界面的设计，旨在提高系统的精确性、稳定性和用户体验。

简介：摘要：本文主要探讨了封装技术对传感性能的影响。通过理论分析和试验研究，得出了MEMS机油压力传感器的密封材料及其工艺过程对其性能和可靠性的影响。补丁胶粘剂的性能达不到可靠性的要求，会导致传感信号的漂移和温度的不稳定性；引线键合强度不高，在使用过程中容易发生断裂；硅油的化学稳定性和温度稳定性差，会导致传感器在高温时输出信号不稳定，硅油中的气体和杂质会导致传感器的零点输出偏差，从而影响传感系统的准确度。

简介：摘 要： 本文提出了一种新型 MEMS共面波导移相器的设计结构，旨在缩短传输线的长度，降低设计复杂度。本文提出了对称双桥膜结构在相同的传输线长度下，可以获得近两倍的相移量。然后，在桥膜两端加一分立电容，进一步增大了对称双桥膜的相移量。为 MEMS移相器的设计优化提供了一个可行的新思路和方法。

简介：摘要:将MEMS技术应用于汽车传感器，不仅可以给汽车工业带来革命性的变化，还可以通过压力传感器、加速度传感器、陀螺仪传感器的有效应用，提高汽车的综合性能。因此，相关人员应加大对MEMS传感器技术的重视，通过对MEMS传感器技术的深入研究，采取有效措施解决其使用中存在的问题，使汽车在MEMS传感器技术的影响下，具备满足人们多样化需求的能力。本文全面分析了MEMS传感器技术在现代汽车发展领域的有效应用和快速发展，为中国汽车工业智能化水平的提高奠定了更加坚实的基础。

简介：【摘要】：针对传统有线微振检测传感器故障几率高、测试成本高的问题，基于MEMS制造技术，设计并制造了无线微振检测传感器。设计实验系统研究其动态特性，实验结果表示，该检测传感器的动态响应速度比较快，并且具备良好的重复稳定性、良好线性度，能够实现低频振动测试。

简介：摘要: 为了更好地即时掌握手持式电动工具的运动状态，及时辨其是不是处在可靠状态，本文通过集成三轴MEMS加速度传感器和三轴MEMS陀螺仪传感器，搭建了由手持式电动工具运动角速度与瞬时速度数据采集控制模块、原始记录载入及基本校正与分辨解决单片机设计控制模块、将变换数据信号转发给上位机软件的串口通信控制模块、手机蓝牙无线传输模块、运动轨迹与状态进一步校正提升的上位机软件等构成的手持式电动式总体目标运动状态的三维精准定位检测系统，该体系可将手持式电动工具实时监测所获运动状态与事先创建的可靠运作情况下的可行域数据库查询比较，分辨手持式电动工具运动是不是处在可靠状态，可作为中后期手持式电动工具安全管理以及科研开发的检测数据管理平台。