简介：摘要微机电系统(microelectromechanicalsystem，MEMS)继电器具有体积小、功耗低、响应快、隔离度高、负载能力强等优点成为下一代继电器的研究热点。本文主要调研了MEMS继电器的典型结构与研究现状，并对各种结构进行了分析。
简介：嵌入式ARM9处理器具有高速、稳定、功耗低、简单易用、接口丰富等特点，在智能仪器设备中得到广泛应用。采用ARM9处理器与MEMS器件设计的惯性导航系统不但可以满足导航系统对小体积、低功耗等的要求，也可满足导航系统对于高处理速度、高实时性的要求。
MEMS继电器分类与应用现状
基于MEMS的惯性导航系统研究与设计
