MEMS继电器分类与应用现状

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摘要 摘要微机电系统(microelectromechanicalsystem,MEMS)继电器具有体积小、功耗低、响应快、隔离度高、负载能力强等优点成为下一代继电器的研究热点。本文主要调研了MEMS继电器的典型结构与研究现状,并对各种结构进行了分析。
出处 《基层建设》 2017年16期
关键词 MEMS 继电器 驱动
出版日期 2017年12月22日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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