简介:针对硅微振梁式加速度计输出频率随环境温度漂移的问题,提出了抗温漂的硅微结构设计方法及相关工艺,降低了环境温度对输出的影响,在室温条件即可达到一定精度。通过建立“硅-玻璃”和“玻璃-陶瓷”耦合模型,分析了造成硅微振梁式加速度计温度漂移的原因。然后提出了“抗温漂耦合设计”的微结构和“半粘结封装”的封装工艺,降低了耦合模型中的理论温漂。利用加工出的原理样机进行实验,结果显示,采用抗温漂结构设计及封装工艺的原理样机,输出频率的温漂系数为-3.5×10-6/℃,室温下零偏稳定性为72.0μg。实验验证了抗温漂理论的可行性,可以满足室温下高精度硅微振梁式加速度计的设计要求。
简介:本文叙述有关加速度、角速度多测量轴任意方位捷联组合(冗余状态)的数学模型、测试编排、自检方案及故障检测的研究结果。
简介:利用上下解方法,锥理论,Schauder不动点定理,Amann不动点定理以及映射度理论研究Sturm—Liouville边值问题(SL.ρ),在某些特定条件下,得到了有多重非负解的存在性结论.从而一定程度上推广和改进了最近的相关结果.