首页 > 《科技新时代》 > 2018年10期 > MEMS显示技术的发展概况

MEMS显示技术的发展概况

在线阅读下载PDF 导出详情

摘要摘要MEMS技术是在现代微电子技术的基础上发展起来的一门新兴科学技术，是一种典型的多学科交叉的前沿性研究领域，它几乎涉及到自然及工程科学的所有学科，如电子、机械、物理、化学、材料、能源和生物医学等；同时MEMS也为上述学科的进一步研究和发展提供了有力的工具1。依托MEMS技术，人们期望通过将宏观结构微型化、集成化来探索具有新原理和新功能的元件及系统；将产品的自动化、智能化和可靠性提高到一个崭新的水平。

DOI rdxy00zk4l/4370949

作者闫思齐1，赵善禄2

机构地区（1.空军航空大学，吉林长春，130022；2.空军航空大学，吉林长春，130022）

出处《科技新时代》 2018年10期

关键词显示技术 MEMS

分类 [医药卫生][]

出版日期 2018年10月20日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）