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《精细石油化工进展》
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2001年11期
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采用多氧化剂浆料抛光的方法
采用多氧化剂浆料抛光的方法
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摘要
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DOI
3j733qkq41/1387953
作者
机构地区
不详
出处
《精细石油化工进展》
2001年11期
关键词
化学机械抛光
多氧化剂浆料
抛光方法
分类
[石油与天然气工程][油气加工工程]
出版日期
2001年11月21日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
精细石油化工进展
2001年11期
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