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  • 简介:GaAs半导体材料可以提高器件运行速度,日益引起人们的注意,但是也给器件制造者带来了许多问题。在本文个,一个全新的可应用于HEMT器件的微米X射线T型栅工艺被提出来,该工艺采用三层胶方法,曝光实验是在北京同步辐射3BlA束线上进行的,并且取得了好的结果。

  • 标签: GAAS 半导体材料 亚微米X射线T型栅工艺 制造 半导体器件 X射线光刻
  • 简介:微电子制造加工技术水平一直制约着我国微电子技术的提高,近年来,将有一批先进的制造加工线在我国建成投产。中芯国际集成电路制造(上海)公司,就是其中之一。该公司,投产一年来进展顺利,2002年底即达到每月投片8英寸硅片3万片的产能。主流加工技术为0.18微米,并可扩展到0.13微米,包括了逻辑电路、数模混合电路、射频电路、高压电路和多种存储器电路等。本刊特约中芯国际张汝京总裁等为本刊撰写了系列文章,介绍中芯国际目前已具备的工艺手段和所达到的技术水准。其它公司的情况,本刊将陆续发表,以飨读者。

  • 标签: 微电子 制造加工技术 超深亚微米 逻辑电路
  • 简介:本刊特约中芯国际张汝京总裁等为本刊撰写了系列文章,介绍中芯国际目前已具备的工艺手段和所达到的技术水准。其它公司的情况,本刊将陆续发表,以飨读者。1.数模混合电路(MS-MixedSignal)和射频电路(RF-RadioFrequency)中的主动元件和被动元件。数模混合电路和射频电路中的CMOS电路必须与logic电路相兼容。其主动元件或称有源元件(ActiveDevices)主

  • 标签: 超深亚微米 VDSM 数模混合电路 射频电路 电容器 电阻器
  • 简介:微米添加剂概况虽然比10年前预期的要晚一些,但高表面积、微米尺寸的添加剂仍在热塑性塑料领域中实现了商业化应用的重大进步。最初,对微米添加剂的期望是将其作为一种增强填料,如令它们不仪实现了预期的目标,还发挥了其他的作用,如杀虫剂、阻隔添加剂、阻燃剂和静电消散(ESD)剂。

  • 标签: 添加剂 亚微米 商业化应用 热塑性塑料 高表面积 增强填料
  • 简介:文章首先分析了静态随机存储器(SRAM)6T存储单元结构的基本工作原理,总结了6T存储单元的优缺点并介绍了存储单元的重要参数静态噪声容限(SNM)。在此基础上给出了一种基于实际微米CMOS工艺的存储单元的设计方法,该方法的优势在于首先考虑单个读、写操作的限制,然后将多个限制因素综合在一起考虑,并通过三维曲线图形为仿真提供指导,以提高设计效率,缩短设计周期。最后给出了存储单元的晶体管参数并采用Hspice进行验证,仿真结果表明,采用这种方法设计出来的单元是稳定可靠的。

  • 标签: 静态随机存储器 深亚微米 6T单元 静态噪声容限 仿真
  • 简介:本文叙述了微米微米级粘细微粒的特点,目前国内外对这类物料进行过滤与洗涤的几类装置的概况,专门介绍了新型的精密微孔过滤机的主要特点及其用于这类物料过滤与洗涤的成功实例。

  • 标签: 微米 亚微米 精密微孔过滤 滤饼洗涤
  • 简介:制作了准直型、L型及Z型等不同形状,不锈钢、花岗岩和水泥等不同材质的裂缝,测量了缝宽范围0~1.0mm、气体流速范围0~10m·s-1时的颗粒透过率,初步研究了微米颗粒在裂缝中的沉积行为.结果表明:准直光滑裂缝中颗粒沉积机理较简单,可以用经验公式较好地描述;曲折裂缝中碰撞机理的作用主要受流速的影响.材质对透过率的影响主要表现为工作面粗糙度的影响;对于工作面粗糙的裂缝,最易透过流速为1.0m·s-1,最易透过粒径为0.39μm.

  • 标签: 放射性颗粒 裂缝 沉积行为 泄漏 透过率
  • 简介:提出了一种微米深度的纯位相型玻璃衍射光栅制作工艺,采用光刻制栅方法对要制作的光栅结构进行了分析;用AUTOCAD绘图软件绘制光栅的排列布局以及MATLAB软件对设计出的图案进行衍射图样模拟,在基于数字微镜的光刻机上进行曝光,由涂覆光刻胶的铬玻璃上得到缩微图案;观察了单色激光的夫琅禾费光栅衍射图样,以确定最终的设计图案;用电子束刻蚀方法得到的铬掩膜板进行常规光刻工艺处理,得到纯位相型的衍射光栅,最后通过对衍射光栅的衍射图案的失效性分析确定最佳的光刻工艺。结果表明:利用光刻制栅方法不仅可以在玻璃上制得纯位相型光栅,同样也可以在硅片、金属等其他基底上制得光栅或其他光学重复单元,方法可行,且材料成本不高。

  • 标签: 亚微米 位相型 衍射光栅 失效分析
  • 简介:使用Maxell方程的严格解,研究了微米直径光纤的单模条件、传播常数、基模分布、传播效率、非线性系数等光学特性,发现微米纤芯直径光纤的单模条件与标准光纤相同,非线性系数在直径为700nm左右时最大;当光纤的直径小于1μm时,传播效率骤减。这些结果有助于新型微光通信和光纤传感器件的设计。

  • 标签: 亚微米直径 光学特性 光纤
  • 简介:微米工艺中,多晶栅TiSi工艺是降低接触电阻的常用方法。但是TiSi的生长与衬底的掺杂浓度相关,对多晶栅的掺杂剂量有很高的要求。由于光刻工艺中存在的套刻偏差,使得后续源漏注入剂量会在多晶栅上有所偏差,影响了后续TiSi在多晶栅上的生长。文章采用多晶栅上生长一层LPCVDSiN作为掩蔽层的方法,避免了由于光刻套刻偏差引入的注入剂量偏差,改善了后续多晶栅上TiSi的生长。通过对As注入和P注入在不同SiN厚度掩蔽层下穿透率的研究发现40nm左右基本可以阻挡95%的N+S/DAs注入剂量而保留80%的多晶栅P注入剂量。该种掩蔽层方法有很多优点:源漏注入的条件不用更改;多晶栅注入的可调节剂量范围大大增加,可以更好地保持重掺杂多晶栅特性。

  • 标签: 硅化钛 多晶栅 掩蔽层
  • 简介:采用先水热合成(150°C,12h)、后煅烧(1000°C)来实现(Y0.95Eu0.05)2O3微米球形和微米板片红色荧光颗粒的形貌可控合成。通过XRD、FT-IR、FE-SEM和PL等检测手段对样品进行分析。结果表明:将尿素与Y+Eu的摩尔比由10增大至40~100,得到的前驱体由碱式碳酸盐微米球转变为碳酸盐微米片;经1000°C煅烧所得氧化物能够继承前驱体的形貌特征;板片二维形貌的限制内部晶粒自由生长,使更多的(400)晶面暴露在板片颗粒表面;在250nm紫外光的激发下,荧光颗粒的荧光发射峰位及荧光不对称因子[I(5D0→7F2)/I(5D0→7F1),~11]均与颗粒形貌的相关性不强,但荧光强度呈现明显的形貌依存性;微米板片颗粒的尺寸大,从而其比表面积小,因此具有更高的荧光强度(微米板片在~613nm处的荧光强度为球形颗粒的~1.33倍)。

  • 标签: 发光材料 粉体合成 物理性能的形貌依存性 稀土 光谱学
  • 简介:为了提高TiO2在聚酯切片中的分散性,须对TiO2表面进行处理。研究了SDS,LAS与硬脂酸,ADDP三种表面活性剂体系对TiO2的表面改性效果。接触角,吸油量,糊粘度表征手段的运用,表明三种表面活性剂体系中3%LAS与硬脂酸,3%ADDP有很好的改性效果,对去离子水的接触角分别达到了119°与130°。DSC分析表明,ADDP改性后的TiO2在300℃以下是热稳定的。因此认为ADDP是一种非常理想的聚酯用TiO2改性剂。

  • 标签: 表面活性剂 亚微米级TiO2粉体 表面改性 聚酯纤维 二氧化钛
  • 简介:<正>RamtronInternational日前宣布推出全球首款基于0.35微米技术的铁电存储器FM25CL04。该铁电存储器的容量为4Kb,工业标准SPI接口,工作电压为3.3V,总线操作频率可达到20MHz。此产品提供快速数据访问,简化与高性能处理器之间的接口,适用电源受限或需要频繁快速进行写入操作的场合,是应用于汽车,办公设备、工业控制设

  • 标签: FRAM 铁电存储器 微米技术 操作频率 工业控制 工业标准
  • 简介:摘要用于粉尘治理的微米级干雾抑尘装置,根据欧美科学家的科研成果,以其研究粉尘散发问题的理论为基础,模拟汽车化油器及声波雾化器的结构,我公司通过从干雾喷头;超声雾化、冲洗及喷涂喷嘴;抑尘剂等多方面入手,研制出微米级干雾抑尘技术。该技术能够产生直径在1-10微米的水雾颗粒,对悬浮在空气中的粉尘——特别是直径在5微米以下的可吸入超细粉尘颗粒进行有效地吸附,使粉尘受重力作用沉降,从而达到抑尘作用。对可吸入粉尘颗粒的吸附作用正是传统除尘设备无法有效解决的关键问题。

  • 标签: 环保 微米级 可吸入粉尘 干雾抑尘
  • 简介:如果说人类智慧有一个区域的话,那么,科学向更小的或是更大的长度单位不断扩展,就标志着人类视野的不断开阔。在工业革命以前,大部分人类生产、科研不需要用毫米尺度,"毛估估"的做法说明了那个时代人类对世界认知的粗浅。

  • 标签: 毛估纳米
  • 简介:介绍一种新的聚合物微米层共挤成型技术。首选介绍微米共挤成型的概念、工艺过程及其工艺条件,并对微米层共制品的独特性能进行了详细描述,最后综述了近几年国内外对微米层共挤成型的研究和应用情况,并对其发展前景进行了展望。

  • 标签: 聚合物 微米层 共挤 成型
  • 简介:恋上捷克是从恋上波西米开始的。波西米玩偶,波西米饰品,波西米生活方式,波西米风格。15世纪爱自由的吉普赛人迁居于这片土地,将世界各国的文明都融入捷克文化中。因为嗜爱这种style,捷克就自然成为计划中魂牵梦萦的目的地了。

  • 标签: 捷克 生活方式 吉普赛人 15世纪 目的地
  • 简介:摘要:由于调峰的需要,某发电公司2号机组于2021年7月进行了20%调峰试验,遇到了不少问题,如燃烧不稳、水位调节、壁温超温等。发电部运行班组积极探索,从运行调节方式上着手,不断尝试,敢于创新,最终找到了锅炉稳燃、水位稳定、降低壁温等的方法,使20%调峰最终得以安全、稳定实现。自2021年11月参与华北电网辅助调峰市场至2022年4月,获得调峰收益449.6万元,取得了不错的经济效益。

  • 标签: 燃烧 水位 壁温 运行调节 安全 经济效益