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超深亚微米（VDSM）Foundry（一）——逻辑电路

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摘要微电子制造加工技术水平一直制约着我国微电子技术的提高,近年来,将有一批先进的制造加工线在我国建成投产。中芯国际集成电路制造(上海)公司,就是其中之一。该公司,投产一年来进展顺利,2002年底即达到每月投片8英寸硅片3万片的产能。主流加工技术为0.18微米,并可扩展到0.13微米,包括了逻辑电路、数模混合电路、射频电路、高压电路和多种存储器电路等。本刊特约中芯国际张汝京总裁等为本刊撰写了系列文章,介绍中芯国际目前已具备的工艺手段和所达到的技术水准。其它公司的情况,本刊将陆续发表,以飨读者。

DOI 7j67e6zrd0/2053642

作者张汝京;杨士宁;刘越

机构地区不详

出处《中国集成电路》 2003年44期

关键词微电子制造加工技术超深亚微米逻辑电路

分类 [电子电信][微电子学与固体电子学]

出版日期 2003年12月22日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）