简介：摘要MEMS技术是在现代微电子技术的基础上发展起来的一门新兴科学技术，是一种典型的多学科交叉的前沿性研究领域，它几乎涉及到自然及工程科学的所有学科，如电子、机械、物理、化学、材料、能源和生物医学等；同时MEMS也为上述学科的进一步研究和发展提供了有力的工具1。依托MEMS技术，人们期望通过将宏观结构微型化、集成化来探索具有新原理和新功能的元件及系统；将产品的自动化、智能化和可靠性提高到一个崭新的水平。

简介：摘要电子通信产业是衡量一个国家科技发展水平的重要标志。随着当前半导体产业的发展，MEMS技术在电子通信产业中越来越发挥着非常重要的作用。MEMS融合了微型机械、微型执行器、通信接口、微控制电路、数字信号处理等一系列功能，在电子通信系统中，MEMS技术可以大幅度的提升电子通信的工作效率，同时还能够对电子通信产业的发展进行创新，因此，相关部门应该重视对MEMS技术的发展应用。

简介：摘要微静电斥力致动器由固定指端和移动指端组成，由于两层指端的边界结构复杂，建立的分析模型也非常复杂，其中主要是由于指端结构参数与电容的影响。本文利用保角变换技术建立了MEMS反射镜静电斥力致动单元电容的解析模型，该模型的给出能简化模型中的电容变量，为下一步力的建模求解提供便捷。

简介：摘要模拟器对功耗有严格要求限定，为了进一步降低模拟器平视显示系统能量损耗，必须提出新的开关控制器来降低静电MEMS驱动器的能耗。在这种情况下，本文提出了一种在非连续导通模式下(DCM)强迫电路工作的谷开关控制器，能有效减小损耗。

简介：摘要本文对静电斥力驱动器最大旋转行程进行建模，推导出了产生最大转矩的指端宽度和旋转角度。以此设计指端宽度这项重要结构参数，以实现对于一个给定的物理参数，如驱动器的宽度W和长度L，悬架弹簧的转动刚度和驱动电压V，使驱动器能达到最大旋转行程。

简介：

简介：摘要模拟器对体积有严格要求限定，为了进一步推动模拟器平视显示系统集成，必须提出新的方法来产生静电MEMS驱动器所需的高电压，以满足模拟器平显系统的体积和功率要求。在这种情况下，本文提出了一种增强型拓扑结构耦合电感，它可以将3.7V的电池电压转换为150V到300V的输出电压，适用于便携式应用中静电驱动MEMS的输入电压。

简介：MEMS可咽下的囊是在非侵略的外科的一种新奇技术。这种技术提供一个方法直接诊断进深肠传统的侵略技术在哪儿实现了例如X光检查，内视镜检查法。让我们在临床的应用程序定位并且追踪MEMS囊的位置是一把钥匙。解决这个问题，我们基于磁性的偶极子模型的分级的形式实现了一个磁性的传感器模块，它与很小的尺寸被设计(5.2*2.1*1.2厘米)并且对容易集合满足系统要求。这里，我们详细讨论磁性的偶极子模型，的原则选择模块的传感器和功能的规则。一些试用被建立测试模块的特征。厘米实验的结果证明模块遵循新磁性的偶极子模型形式的规则。

简介：摘要模拟器对体积和功耗有严格要求限定，为了以最小的占用率达到最大的效率，采用高集成度耦合电感DC-DC转换器1，以满足模拟器平显系统的体积和功率要求，并运用0.8μmHVCMOS技术改进功率器件，减少芯片面积。本文对改进后的高集成度耦合电感DC-DC转换器进行性能测试。