简介：摘要本文提出了一种相移掩模（PSM）在国产清洗机PMC1500上清洗时phase掉落幅度控制的方法。在相移掩模制备过程中，影响phase值大小的因素较多，干法蚀刻的时间，清洗工艺等对相移掩模的phase值都有很大的影响。177°—183°的phase大小，是PSM版在晶圆工厂使用的常规要求，研究中提出了对相移掩模清洗phase值掉落的控制，在保证清洗能力的情况下，通过对清洗过程中影响phase值掉落的重要因素进行改良，清洗流程包中包含SPM清洗以及SC1清洗的工艺，通过逐一改变SPM以及SC1的清洗条件，实现对PSM掩模phase值掉落的控制研究，最终确定了SC1清洗工艺时间对PSM掩模phase掉落的影响较大，通过控制SC1的清洗工艺方式，有效地控制PSM掩模清洗时phase值的掉落。

简介：阐述了相移PWM技术在级联型逆变器中的应用，并对相移PWM中各单体逆变器的相移与级联型逆变器输出频谱之间的关系进行了分析：当相移量为T1／m时，输出谐波频率为原有的m倍。仿真和实验结果证实了分析的正确性。

简介：摘要当集成电路工艺发展到65纳米技术节点时，随着图形特征尺寸越来越小，图形越来越密集，势必造成缺陷很难修补。本文介绍了掩模在制作过程中缺陷形成的原因，对掩模缺陷进行分类，阐述了光掩模缺陷修补的重要性和掩模修补原理及方法。比较详细的介绍了激光气化法、局部曝光法、离子束修补。对光掩模缺陷修补方法做了探讨研究。

简介：摘要针对集成电路掩模的制作过程中各种缺陷产生的种类及来源进行了基本的系统分析,提出了一些减少或消除这些缺陷的办法和措施。

简介：日前，LGMicron以独立技术开发出55英寸PDP用大型光掩模。光掩模开发课题属韩国政府重点促进项目，LGMicron曾于1998年在韩国率先开发出40英寸大型光掩模。日前，光掩模的开发技术只为日本DMP等3、4家公司所掌握。光掩模主要用于PDP生产的核心暴光工艺，是决定画质和鲜明度的核心部件。LGMicron正在向国内PDP制造厂家供应目前占据世界市场主流的40英寸光掩模。

简介：重离子柬轰击聚碳酸酯后．对样品进行陈化和紫外线照射数化，在优化条件下蚀刻后得到纳米孔径核孔膜。利用电化学沉积技术在核孔膜中制备了最小孔径为30纳米的铜纳米线。获得的钥纳米线／聚碳酸酯可以作为x光纳米光刻的腌膜。

简介：摘要：电力系统中大型接地网面积大，存在较大的不平衡电流、工频零序电流和谐波电流干扰，通常采用工频大电流法、直流注入法等检测方法测量，但均未从根本上解决大地网干扰电流等问题。接地阻抗测试的准确性成为变电站能否安全可靠运行的关键，尤其是对于当前智能变电站的建设，站内智能化仪器、仪表日益增多，对接地系统的要求越来越严格。因此，有必要对变电站的接地阻抗测试方法进行研究，提高测试的准确性和可靠度。

简介：为了更好地服务于中国快速增长的半导体产业，凸版印刷集团旗下子公司上海凸版光掩模有限公司11月18日宣布，将在上海扩大其生产经营规模。上海凸版光掩模有限公司（简称“TPCS”），是由凸版光掩模集团与上海微系统信息技术研究所共同组建的一家中外合资公司。此次投资2000万美元将极大地扩大公司用以制造半导体器件的光掩模版的产能，同时也提高公司的生产技术能力至90纳米精细工艺。

简介：摘要：本文以水声通信为背景，深入的研究了相移键控调制技术， PSK信号的调制与解调，成功的将相移键控调制技术在水声发射机上进行了通信测试应用。

简介：在结构光三维测量系统中,由于投射光不均匀,待测物体自身反射率变化,环境照明引入光分布偏差,参考平面上的待测物体条纹光不均匀,偏离了理想光分布模型,产生了噪声,以致增加了三维重建的难度.为此,本研究提出一种新的算法,对采集的条纹图进行预处理,通过相移法提取相位,设置合适阈值,提取出待测物体的轮廓信息,能更加精确提取噪声区域,对噪声范围内的误差像素取其邻域的误差像素的灰度值均值替换该像素的数值.结果表明,本算法能很好地降低噪声带来的误差,降低了三维重建的难度,对处理后的相位图进行重建,其精度达到98.32%.

简介：近年来车牌识别技术在交通基础设施中得到越来越多的应用。由于车辆号牌是车辆的主要标识信息，因此现有的智能交通系统对鲁棒的车牌识别技术依赖性很大。本文的目的是综合现在一些常见的基于视频信息的车牌识别技术，提出一种新的融合梯度和颜色特征的车牌定位及识别方法，并结合多种图像掩模的滤波操作，从而能够快速有效地识别户外道路场景中各种光线条件下的车牌。

简介：《岳麓书院藏秦简（三）》中所载“癸、琐相移谋购案”中若干情节可以与睡虎地秦简和张家山汉简中的内容相互印证。按照秦律的相关规定，癸等虽然作为有秩吏，一般不在获得购赏的范围内，但是在捕获群盗时，请求购赏是合法的，进而明确该案被告的违法之处在于有为谋求购赏的欺诈行为。

简介：《岳麓简（三）》“癸、琐相移谋购案”所记载的诉讼程序十分完整，对郡、县二级司法官吏的审理和判决过程进行了详细记述，其中有四个环节涉及司法官吏对法律适用问题的判断，即州陵县的判决、监御史的劾、州陵县尝试重新判决以及南郡的最终判决。它们反映出秦统一前夕的法制状况与统一后乃至汉初相比，具有整体上的延续性和稳定性，但在某些具体制度上也发生了明显变化，从中可以窥见那段政治剧变期呈现出的法制变迁轨迹。

简介：光弹法测量应力是通过对图像中携带的灰度信息计算出应力条纹的相位信息,然后再对图像去包裹确定全场等差线条纹级次,从而确定应力分量,实现对材料应力分布的考察。本研究将Patterson和Wang的六步相移法基本原理与计算机数字图像处理技术应用于传统光弹性方法中,选择具有精确理论解的有机玻璃透明材料模型试样进行试验;通过对有机玻璃透明材料实施一次正射加一次斜射的方法,配合图像处理技术,确定了有机玻璃透明材料应力分布,并将试验结果与模型的理论解进行了对比,相对误差为7.9%;详细分析了引起误差的因素。本研究结论确定了该方法应用于有机玻璃透明材料应力分布考察中的可行性。

简介：基于腔减相移光谱（CAPS）技术检测灵敏度高、光源性价比好、容易控制和有效吸收光程长等优点,搭建了一套基于CAPS技术的连续测量大气气溶胶消光系数的监测系统。测试系统高反射镜片反射率约为0.9999,对应有效光程约为4.4km;通过Allan方差测试分析系统最佳积分时间约为80s,对应消光系数检测极限为0.06Mm-1;将系统应用于实际大气气溶胶消光系数的12个周期和48h连续监测,显示空腔相移基本稳定,样品测量相移偏移明显,反演得到的大气能见度结果稳定可靠。由此表明,研制的基于CAPS技术的大气气溶胶消光系数连续测量系统应用于实际的测量是完全可行的。

简介：结合四元数离散余弦变换（QDCT）、Henon映射和两步相移数字全息干涉术,提出一种彩色图像加密新方法.所提加密技术首先应用QDCT对彩色图像进行整体式的处理,然后使用Fibonacci变换和基于分数傅里叶变换的双随机编码技术进行加密,并采用两步相移数字全息干涉术记录加密结果.为避免传输随机相位掩模（RPM）给解密方引起的安全风险,利用Henon映射生成双随机编码过程所需的RPMs加以解决.实验表明所提加密系统具有高安全性和对选择明文等攻击具有鲁棒性.