简介:Usinganewlow-temperatureprocess(<600℃),thepoly-SiTFTwasfabricatedbymetal-inducedlateralcrystallization(MILC).Anultrathinaluminumlayerwasdepositedona-Sifilmandselectivelyformedbyphotolithography.Thefilmswerethenannealedat560℃toobtainlaterallycrystallizedpoly-Sifilm,whichisusedasthechannelareaofaTFT.Thepoly-SiTFTshowedanon/offcurrentratioofhigherthan1×106atadrainvoltageof5V.TheelectricalpropertiesaremuchbetterthanTFTfabricatedbyconventionalcrystallizationat600℃.
简介:本文根据xilinxFPGA的SOPC嵌入式系统设计的方法,提出了基于SOPC技术的TFT—LCD显示系统的解决方案,分析了TFT—LCD控制器的设计思路,分析了系统硬件的构建流程、组成结构以及各部分IP核的功能,给出硬件设计和软件编程测试的方法。最终结果表明系统稳定可靠,显示清晰,色彩丰富,达到了系统设计要求。
简介:全氟化碳是温室气体,大量排放到大气中将会严重污染环境,在薄膜晶体管液晶显示器的生产过程中需要用全氟化碳做等离子刻蚀的反应性气体和在化学气相沉积工艺中做清洗气体,为减少使用过程中全氟化碳的对外排放,国外的TFT-LCD企业作了大量的工作,特别是日本、韩国、我国的台湾地区.文章介绍了全氟化碳温室效应的计算方法、全氟化碳在TFT-LCD制造过程中的具体应用、国外为减少全氟化碳排放采取的措施,相信这些经验对处于起步阶段的我国TFT-LCD行业有很好的借鉴作用.
简介:ThepatternofITOtransparentelectrodeofpixelcellsinTFTAMLCDisacriticalstepinthemanufacturingprocessofflatpaneldisplaydevices,thedevelopmentofsuitableplasmareactiveionetchingisnecessarytoachievehighresolutiondisplay.InthisworkweinvestigatedtheAr/CF4plasmaetchingofITOasfunctionofdifferentparameters.WedemonstratedtheabilityofthisplasmatoetchITOandachievedanetchingrateofabout3.73nm/min,whichisexpectedtoincreaseforlongpumpingdownperiod,andalsothroughadditionofhydrogenintheplasma.FurthermorewedescribedtheITOetchingmechanisminAr/CF4plasma.Theinvestigationofselectivityshowedtobeverylowoversiliconnitrideandsilicondioxidebutveryhighoveraluminum.