简介:海事卫星通信设备一直距离大家很遥远,但是在今年的四川抗震救灾中,海事卫星通信终端逐渐被大家所熟悉。在各大媒体的报道中,“海事卫星”成了丹麦泰纳生产的“EXPLORER”系列陆用卫星通信设备的代名词。根据交通部中国交通通信中心(中交通信)数据,全球30万部海事卫星终端设备中,丹麦泰纳公司生产的超过10万部。中国现已经拥有5万多海事卫星终端用户使用丹麦泰纳的产品。日前,丹麦泰纳CEOWalther来到中国,会晤其合作伙伴中交通信.商讨双方下一步的具体合作。本刊记者对、Walther先生及中交通信中心主任扬洪义进行了采访.
简介:在研发一套基于0.18μm工艺的全新半导体芯片时,由于芯片工艺的要求我们将标准0.18μm工艺流程中的接触孔蚀刻阻挡层由原来的UVSIN+SION改为SIN,但却引进了PID(等离子体损伤)的问题。当芯片的关键尺寸减小到0.18μm时,栅氧化层变得更薄,对等离子体的损伤也变得更加敏感。所以如何改善PID也成为这款芯片能否成功量产的重要攻坚对象。这一失效来源于接触孔阻挡层的改变,于是将改善PID的重点放在接触孔蚀刻阻挡层之后即后段工艺上。后段的通孔蚀刻及钝化层的高密度等离子体淀积会产生较严重的等离子体损伤,因此如何改善这两步工艺以减少等离子体损伤便成为重中之重。文中通过实验验证了关闭通孔过蚀刻中的磁场以及减小钝化层的高密度等离子体淀积中的溅射刻蚀功率可以有效改善芯片的等离子体损伤。通过这两处的工艺优化,使得PID处于可控范围内,保证了量产的芯片质量。