简介：本工作主要包括KDP晶体单点金刚石车削加工和是非球面透镜数控抛光技术。

简介：论述了离子束曝光技术的原理、特点,分析了其面临的关键技术问题,如掩模技术、离子源技术、图像对准技术等,并介绍了这些年来国外的一些研究机构及公司在离子束曝光技术上的研究进展及

简介：TN305.72002032298光学邻近校正改善亚微米光刻图形质量=Opticalproximitycorrectionforimprovingpatternqualityinsubmicronphotolithography[刊,中]/石瑞英(四川大学物理系.四川,成都(610064)),郭永康(中科院微电子中心.北京(100010))//半导体技术.-2001,26(3).-20-26论述了近年来光学邻近校正技术的进展,讨论了各种行之有效的改善光刻图形质量的校正方法,并分析了邻近效应校正在未来光刻技术中的地位和作用。图8表1参14(李瑞琴)TN305.72002032299光刻技术在微细加工中的应用=Applicationoflithographytechnologytomicroelectronicmanufacturing[刊,中]/刘建海(上海先进半导体制造有限

简介：随着ICF激光驱动器技术的发展，要求激光输出的能量和功率越来越高，激光片状放大器提供了装置总输出99％以上的能量，其典型的通光口径为Ф300mm×300mm（中国TIL装置）和Ф400mm×400mm（美国NIF装置）。为了提高储能效率，放大器多设计为多段式组合系统。相应地就需要大尺寸的脉冲氙灯，如弧长超过1500mm，达到Ф37mm。将预电离作为提高氙灯光效的有效途径已广泛应用于大型激光装置，文中研究了氙灯预电离参数对大尺寸脉冲氙灯光效的影响，包括预电离点灯以及泵浦脉宽的实验工作。

简介：TN305．72005032365硅基微结构制作及其在微分析芯片上的应用=Fabricationofsilicon-basedmicrostructuresandtheirapplicationinmi-crochipsE刊,中]／孙洋(清华大学深圳研究生院．广东,深圳(518057)),钱可元…∥半导体光电．-2004,25(6)．-477-479,483基于一种新的湿法刻蚀条件和新型的凸角补偿结构,以KOH溶液为腐蚀液,对单晶(100)Si材料进行了湿法刻

简介：生产中遇到许多易变形弹性薄片零件，如常见的垫圈、摩擦片、特别的碟性弹簧，薄板、飞片等，它们刚性差、散热困难、装夹时易引起装夹变形，加工时会出现翘曲，严重影响零件的加工精度。对这类零件的精密加工技术进行研究，对减少工件的热处理变形及装夹变形，减少变形工作对零件最终形成精度的影响，从而保证弹性薄片类零件的加工精度具有至关重要的意义。提高零件精加工前的精度以及减少零件装夹变形和减小切削力是提高零件加工精度的重要措施。对于力学性能要求较高的工件，一般都需要进行热处理，以提高工件的综合力学性能。

简介：径向三腔预调制型同轴虚阴极振荡器的三腔调制腔结构由3个半开放式同轴谐振腔构成,能起到显著的束流调制作用,从而提高了电子束与微波场的耦合效率。数值模拟结果表明：改变调制腔长度可对系统工作频率进行调谐,其效率为3dB时的调谐带宽约为400MHz。经过优化设计,在二极管输入电压约为600kV,发射电流约为60kA的条件下,获得了平均功率约为7.2GW,工作频率为2.67GHz的微波输出,束波转换效率达到20%。

简介：在外加注入信号的速调型相对论返波管的基础上,通过在注入腔和谐振反射器之间插入两个预调制腔,提出了一种带双预调制腔的速调型相对论返波管.双预调制腔实现了对电子束的预调制,增加了电子束在双间隙提取腔内的一次谐波电流幅度.与外加注入信号的速调型相对论返波管相比,功率转换效率从48％提高到57％,控制10GW输出微波相位所需的注入信号功率从10MW减少到0.8MW,注入口的泄露功率从120MW缩小到35MW.

简介：阳极杆箍缩二极管产生的X射线焦斑小,达亚mm量级,且焦斑位置稳定,是一种理想的闪光X射线照相加速器二极管.但是,由于其工作阻抗较高(约40～60Ω),导致无法与大电流低阻抗的脉冲功率源匹配.通过预先向二极管中注入等离子体,可以降低二极管最初工作阶段的阻抗,实现与低阻抗驱动源的匹配.预充等离子体的密度直接影响二极管的工作状态,特别是对等离子体鞘层和空间电荷限制流的形成具有较大影响.采用理论分析和数值模拟相结合的方法,对预充等离子体阳极杆箍缩二极管的工作过程和等离子体密度对二极管的电子束箍缩特性进行了分析,结合“剑光一号”加速器水线输出参数(峰值电压为1MV),给出了合适的预充等离子体的密度范围为1015～1016cm-3.

简介：P715.522004032121一个新型的水下微光高速电视记录系统=Anewlowlight-levelunderwaterhigh-speedtelevisionsystem[刊,中]/王忠厚(中科院西安光机所.陕西,西安(710068)),李自田…∥光子学报.—2003,32(8).—1007-1009

简介：TN2132005042956恒定辐照下一维HgCdTe环孔PN结光生载流子浓度的计算=Calculationofphotocarrierconcentrationofa1-DloopholeHgCdTePNjunctionundersteady-stateincidence[刊,中]／王忆锋(昆明物理研究所,云南,昆明(650223)),蔡毅／／红外技术,-2004,26(6),-41-44,47通过求解一维HgCdTe环孔PN结连续性方程,得到了恒定辐照下光生载流子浓度的一般表达式,并对结果进行了分析讨论。图1参9(严寒)

简介：跟踪系统采用光电经纬仪工作模式，采用Kalman预测滤波技术对计算机接受到的传感器数据（包括电机编码器反馈信号、电视脱靶量信号）进行滤波预测，提供准确的位置、速度信息，进行有效预测外推，可以有效提高跟踪系统对机动目标的跟踪性能，实现对目标的稳定跟踪。

简介：TH811.297010521红外测温技术=Theinfraredmeasuringtechnologyfortemperature[刊,中]/姜世昌(上海工业自动化仪表所.上海(200233))∥自动化与仪表.—1996.17(4).—1—4

简介：根据正交试验设计法的原理,利用坦克红外辐射特性的理论模型和软件,对影响坦克红外辐射特性的多个参数进行了计算机模拟实验分析。总结了影响坦克红外辐射特性的主要因素,并对其进行了分析计算.这对理论模型的校验和模型的

简介：TB853.196031855镜头快门及其技术发展=Thelensshutteranditstechnicaldevelopment[刊,中]/范建伟(国营华东光学仪器厂.浙江,嘉兴(314001))//光学仪器.-1995,17(4/5).-75根据不同时期镜头快门曝光控制方式,动力源的

简介：TB8598063903利用胶片反射光的直接测光系统及其分析计算=Lightdirectmeasuringsystemusingfilmreflectedenergyanditsanalysis[刊,中]/冯华君(浙江大学光学仪器国家重点实验室.浙江,杭州(310027))//光学仪器.—1997,19(6).—24—30

简介：TB853.212002010510闪光X射线照相系统调制传递函数测量=ModulationtransferfunctionmeasurementofflashX-rayra-diographicsystems[刊,中]/周俸才,管永红(中国工程物理研究院流体物理研究所.四川,绵阳(621900))∥光

简介：扫描光刻技术是目前实现大口径压缩光栅等位相元件制作的一种有效方案，该技术考虑到大尺寸加工的困难，采用先小尺寸加工，然后连续扫描扩大加工区域的方法，既能保证大尺寸加工和较高精度，又能降低设备制作成本和难度，具有明显的优越性。扫描光刻技术中需要发展超精密检测和超精密定位装置以保证移动光刻过程能够得到精密的控制，特别是10^-6级的相对精度的控制。图1显示了XY超精密平台的测量定位系统。

简介：TB853.2199042625空间相机光学窗口的热光学评价=Thermal—opticalevaluationtoopticalwindowsofspacecam-era[刊,中]/赵立新(中科院空间科学与应用总体部.北京(100080))//光学学报.—1998,18(10).—1440—1444结合工程实际,以光学波像差的基本理论为基础对空间相机光学窗口的非轴对称温度场进行了热光学评价,编程计算了空间相机光学窗口在一个轨道周期内各典型位置处的均方根波像差,并把计算结果与美国"天空实验室"光学窗口的相应数据进行比较,以验证热光学分析的合理性、正确性。图2表2参3(严寒)TB87299042626光学相干层析成像技术的应用=Applicationofopticalcoherencetomography[刊,中]/胡晓云,刘琳,陆治国(西北大学物理系.陕西,西安(710069))//激光技术.—1998,22(6).—339—342介绍了光学相干层析成像技术在不同领域的应用,预言了未来的发展趋势。图2参13(赵桂云)TB87999042627时间分辨投影成像术的成像分辩率的理论研究=Imagingresolutionoftimeresolvedtomographyintissues[刊,中]/陈敏,陈建文,徐至展(中科院上海光机所.上海(201800))//光学学报.—1998,18(10).—1390—1394从漫射近似理论出发,详细讨论了漫射投影系统的透射光斑的点扩散函数与时间门的时间分辩率、探测器的有限大小、生物组织的厚度以及积分时间的关系。图5参14(严寒)

简介：TN21397063897碲镉汞晶片少数载流子寿命面分布的自动测试技术=AutomaticmeasurementtechnologyfortheareadistributionoftheminoritycarrierlifetimeofHgCdTewafer[刊,中]/龚海梅,李言谨,胡晓宁,靳秀芬,宣荣伟,朱龙源,方家熊(中科院上海技术物理