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《电子与封装》
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2002年5期
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0.4~0.25μm时代的平坦化技术
0.4~0.25μm时代的平坦化技术
(整期优先)网络出版时间:2002-05-15
作者:
电子电信
>物理电子学
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资料简介
从亚微米进人到1/4μm时代,VLSI工艺中的平坦化技术与其它的微细加工技术一起被广泛采用.
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从亚微米进人到1/4μm时代,VLSI工艺中的平坦化技术与其它的微细加工技术一起被广泛采用.
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