薄膜厚度对FeZrBNb单层膜巨磁阻抗效应的影响

(整期优先)网络出版时间:2012-05-15
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用射频溅射法制备了FeZrBNb合金薄膜,研究薄膜厚度对巨磁阻抗效应的影响。结果表明,适当增大薄膜的厚度可以降低薄膜样品的临界频率,提高阻抗比。频率为13MHz时,厚度为10.8μm的薄膜样品的最大纵向阻抗比达到了5.9%,高于3.5μm的薄膜样品(最大纵向阻抗比为1.9%);而临界频率为400kHz,远低于薄膜厚度为3.5μm的样品(临界频率为1.3MHz)。