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《半导体信息》
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2006年5期
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MEMS主流产品及技术现况
MEMS主流产品及技术现况
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摘要
未填写
DOI
odwvrql3jk/1563880
作者
郑冬冬
机构地区
不详
出处
《半导体信息》
2006年5期
关键词
MEMS
微流体
复合年增长率
惯性传感器
成长率
产品类型
分类
[电子电信][物理电子学]
出版日期
2006年05月15日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
半导体信息
2006年5期
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