简介：摘要：随着微机械加工技术的不断提高，MEMS器件生产工艺也随之得到不断开发与完善。而刻蚀技术是MEMS器件生产过程中的关键技术与核心环节，本文就湿法、干法刻蚀分析了代表性的氢氟酸腐蚀刻蚀和ICP刻蚀方法，就其特点和应用进行列比分析，并结合MEMS器件工程项目生产实际提请建设性意见。
简介：摘要：随国家“四好农村路”建设进一步深化，建好、管好、护好、运营好农村公路成为现阶段农村公路建设的发展目标。平整度是路表功能中最重要且直观的一项技术指标。针对农村路平整度检测道路情况复杂等问题，本文提出了一种基于MEMS惯导/里程计组合航位推算算法的平整度低成本快速精准检测方法，利用三轴陀螺、三轴加速度计与里程计的观测冗余提升解算结果可靠性，首先推算行驶轨迹所对应路面三维位置信息，然后输出等间距的路面高程信息，并以此计算输出路面国际平整度指数（IRI）值，最终实现农村公路平整度的快速测量。试验结果表明：提出的方法在不同速度和运行状态下均具有较好的适应性，受加减速、急转弯等道路路况影响小，雨雪天气均可使用，适应各种农村路路面路况。
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