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  • 简介:由于使用有毒物质和高压容器,离子注入一直都是一种危险的操作。然而,已证明采用低于大气压的气体源(Sub—atmosphericgassollrccs,SAGs)能提高其安全。由于使用SAGs越来越多,美国国家保护防火协会(NationalProtectionFireAssociation,NPFA)制定了使用规范和指南。本文阐述了两种主要的SAGs以及它们的安全和功效的差别。

  • 标签: 安全性 危险性 大气压 气源 高压容器 有毒物质