关于使用低于大气压的气源以减小危险性,提高安全性的新规定

(整期优先)网络出版时间:2010-06-16
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由于使用有毒物质和高压容器,离子注入一直都是一种危险的操作。然而,已证明采用低于大气压的气体源(Sub—atmosphericgassollrccs,SAGs)能提高其安全性。由于使用SAGs越来越多,美国国家保护防火协会(NationalProtectionFireAssociation,NPFA)制定了使用规范和指南。本文阐述了两种主要的SAGs以及它们的安全和功效的差别。