简介：评估了使用深反应离子刻蚀工艺来进行晶圆的切割,用于替代传统的刀片机械切割方式。结果表明,使用深反应离子刻蚀工艺,晶圆划片道内的硅通过等离子化学反应生成气态副产物被去除,从而避免了芯片侧面的机械损伤。切割后整个晶圆没有出现颗粒沾污,芯片边缘没有崩角以及开裂等损伤。该工艺还可以适用于更窄的划片道切割要求。

简介：文章基于Mintab软件,运用Precision5000等离子刻蚀技术研究0.8μm多晶栅刻蚀中功率、压力、HBr流量、Cl2流量对刻蚀效果的影响。获得了四个因素对刻蚀效果影响的主次关系,同时由Mintab软件分析获得了各因子效应的pareto图,各因素对多晶条倾斜角度影响的主效应图,各因子对刻蚀效果的正态分布图,并拟合获得了多晶栅刻蚀的最优化条件。运用最优化条件刻蚀多晶栅,其结果表明剖面倾斜角度及表面形貌均能达到MOS器件的工艺制造要求。

简介：依据感应耦合等离子体的刻蚀机理,对影响刻蚀的两个重要参数及先进的硅刻蚀技术进行了较深入的研究,并对影响刻蚀效果的参数进行了实验研究,刻蚀出了20μm深,2μm宽的谐振器结构,得到了最佳的工艺参数.

简介：在光栅的制作中有两种方法:其中一个是湿法,另外一个是干法.本文分别就湿法和干法的实验结果,进行比较.用干法刻蚀方法做出了比较好的一级光栅,证明了干法刻蚀优于湿法刻蚀.

简介：回顾十多年的全国高考化学试题，离子反应一直是高考的重点，其中判断离子方程式正误、离子能否在溶液中大量共存，可称得上是高考题中的“常青树”，从1992年高考至2005年高考（除2002年外），上面两个类型的题目至少要考一道，并且一些重要的离子反应方程式在历年考卷中多次出现，判断离子在溶液中能否大量共存的题目中，一些重要离子重现率要高，同学们复习时应注意这些特点，把握住重中之重，展望未来高考，离子反应方程式、离子能否在溶液中大量共存，成为必考题更在情理之中，因为离子反应与工农业生产、日常生活、科学实验有密切联系，它们之间的融合会成为今后命题的热点，随着人类社会的进步，环境问题越来越受到重视，污水中的离子反应担负着变废为宝的重担，必将在理科综合考试中担当重要角色，因此同学们复习时，要特别重视这些热点内容，现将上面两个热点题型的解题方法作一分析总结．

简介：国家863计划集成电路制造装备重大专项“100nm高密度等离子体刻蚀机和大角度离子注入机”，9月28日在北京通过了科技部与北京市组织的项目验收。这是我国国产主流集成电路核心设备产品第一次实现销售，标志着我国集成电路制造核心装备研发取得了重大突破，在该领域自主创新和产业化上又迈出了可喜的一步。

简介：摘要：本文研究的主要目的是在集成电路技术发展及纳米时代到来的背景下，强调刻蚀腔环境对电介质刻蚀混合制程的影响研究的重要性。通过设计刻蚀腔环境对电介质刻蚀混合制程的影响研究实验，并对实验的动机、概况、结果、结论几方面做出分析，以全面提升国家芯片技术制造质量，进而推动国家现代化发展，应对国外技术封锁。此次研究选用的是文献研究法，通过对相应文献的查找，为文章的分析提供一些理论基础。

简介：离子能否大量共存是高考中的常见题型,再现率达100%.离子能否大量共存的关键是离子间是否发生反应,反应物某种离子浓度是否减小.

简介：正确书写离子方程式的“五”注意：1．易溶、易电离的物质(可溶性强电解质，包括强酸、强碱、可溶性盐)以实际参加反应的离子符号表示；非电解质、弱电解质、难溶物、气体、单质、氧化物均用化学式表示。2．离子方程式书写中，浓硫酸不能拆写成离子形式，而浓硝酸、浓盐酸要拆写成离子形式。3．多元弱酸的酸式酸根不能拆写成离子形式，如NaHCO3不能拆写成“Na＋＋H＋＋CO32-”。4．氨水作为反应物写为NH3·H2O；作为生成物，若有加热条件或浓度很大时，写为“NH3↑＋H2O”。5．离子方程式要遵循质量守恒、电荷守恒，是氧化还原反应的还要遵循得失电子守恒。

简介：摘要：以《离子反应》第二课时离子方程式的书写进行教学设计，通过教师课上积极的引导学生进行探究实验，让学生深刻的理解离子反应的实质，并分析归纳出复分解型离子反应发生条件，更好的掌握离子方程式的书写步骤。

简介：说课，是一种以语言为主要工具，向同行阐述自己对某一教学内容的施教方案，并对其效果进行预测、反思等的教学研究方式。开展说课活动，对于促进教师深入钻研教材、贯彻有效教学理念，特别是自觉进行教学反思，都是极有意义的。笔者曾就“离子反应及其发生条件”一课，在湖南省普通高中化学新课程研讨会进行过汇报交流。现将说课稿整理出来，希望能给大家带来些许启示。

简介：＂离子反应＂,是高中化学的重要内容,是学生形成微粒观的主要途径。但由于其抽象性,学生往往很难理解物质在水溶液中能以离子的形式存在。通过增设实验的方法,通过＂看得见＂的实验事实,帮助学生更好地建立微粒观,为高中化学学习打下基础。

简介：复分解类型离子反应的本质是:原来的自由离子,全部或部分变成非自由离子状态,形成新的物质.从体现这一本质出发,高中课本中指出:有难溶的物质或难电离的物质或挥发性的物质生成,只要具备上述条件之一,离子反应就能发生.那么,这里的“难溶的物质”就是不溶于水的物质吗?“难电离的物质”等同于弱电解质吗?“挥发性的物质”与通常状态下的气体只是说法不同吗?

简介：　　离子方程式的书写是中学化学的重点和难点之一.对于简单的离子反应,学生尚能熟练地书写其离子方程式,但对于较为复杂的离子反应,要书写其离子方程式,学生往往感到比较困难.例如:向NaHSO4溶液里,逐滴加入Ba(OH)2溶液至中性;请写出反应的离子方程式.该题中参加反应的离子种类较多,涉及到的反应类型既有中和反应又有沉淀反应,比较复杂,怎样快速准确地书写其离子方程式呢?现介绍一种方法仅供大家参考.该方法分以下三个步骤:……

简介：课堂上充分运用信息技术、化学实验、flash动画模拟等手段,从多角度、多层次、多种途径地构建起'离子观',使学生能够运用微观概念解释和分析问题。最后从生活中的实际问题出发,提升学生对离子反应的认识,学以致用。整个教学过程采用探究性活动设计,让学生自己动手,体会知识的形成过程,使学生真正成为学习活动的主体,取得了很好的教学效果。

简介：摘要：本文探讨了离子反应在初中化学教育中的重要性和应用。文章通过分析离子反应的本质，详细介绍了离子反应的基本原理和相关概念，重点讨论了酸碱盐反应中的离子反应过程，并举例说明了如何通过巧妙运用离子反应来解决初中化学学习中的难点问题。通过本文的研究，我们可以更好地理解离子反应的机制，提高学习效率，培养学生的化学思维能力，促进科学教育的发展。

简介：离子反应及离子方程式的书写是高中化学的重点内容之一，同时也是一个难点，由于同学们的理解不够深刻，所以往往会出现这样那样的错误．在此将该部分知识做一归纳小结，以供高一新同学学习。

简介：离子反应是中学化学中的一类重要反应，离子方程式的书写与正误判断也是高考中的重点题型，本文将通过归类分析的方式来小结有关离子反应中的过量问题．

简介：物质的分类、离子反应是每年高考的热点,为此,笔者将其常见的考点进行了分类例析,以期对读者有所帮助。考点一：物质的分类考点点击：物质的分类贯穿于化学的始终,主要考查中学阶段常见的物质分类标准,其中,氧化物的分类和酸、碱、盐、氧化物之间的转化为高考考查的重点,也是该部分内容的难点及易错点。例1下列关于物质分类的说法正确的是（）。

简介：物质的分类、离子反应是每年高考的热点，为此，笔者将其常见的考点分类例析于下，以期对读者有所帮助．