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超声振动辅助抛光碳化硅试验

作者：唐爱玲，苑泽伟，唐美玲，王颖
学科：政治法律 > 政治学
创建时间：2023-04-18
出处：《职工天地》 2023年第1期
机构：（沈阳工业大学机械工程学院，辽宁沈阳 110870）

简介：摘要：为改善化学机械抛光加工碳化硅试件过程中存在的表面质量差等问题，将超声振动辅助化学机械抛光加工碳化硅与化学机械抛光进行对比，研究超声振动辅助抛光的效果。
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