简介:摘要所谓CF即Colorfilter面板行业中的彩膜制程。在RGB三道彩膜制程前需要成形规整的黑矩阵格子来承载RGB色条,形成的这个黑矩阵即为BMBlackMatrix。为了确定曝光出来的BM图形与设计所需图形的吻合程度,一个重要的SPC监控特性值是BMTP。TP即TotalPitch线长,即图案实际长度与设计长度的误差容忍值,一般以ppm为单位。目前行业内BMTP会监控8条边,规格要求为±0.8ppm,计算公式为(实际线长-设计线长)/设计线长*1000000,并要求制程稳定度CPK≥1.33。通过分析本文内容可以看出,提升BMTP的CPK除了传统的变更ScanSpeed和机台模板Offset补正外,变更Scanlayout方向,对BMTPCPK的改善也起到很大的作用。鉴于此,本文就BMTPCPK不达标的分析及改善展开探讨,以期为相关工作起到参考作用。
简介:摘要隧道的施工质量,必须有业主、设计、监理和施工各方面共同参与和努力才能保证,一定要有完善的组织机构,先进的技术保障,严格隧道质量控制。