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Effect of the Structure and Valence State on the Properties of VO2 Thin Films

简介：VO2thinfilmswithgoodswitchingpropertieswerepreparedbycontrollingtheannealingtimeandtheannealingtemperatureinavacuumsystem.Thestructural,opticalandelectricalpropertiesofthesampleswerecharacterizedbyusingXRD、XPS、UV-VISandelectricalmeasurements.TheswitchingparametersofVO2thinfilmwereinvestigatedtoo.TheresultsindicatethatbeforeandafterphasetransitiontheresistanceofVO2thinfilmschangesaboutthreeordersofmagnitude,thevariationoffilmtransmittanceof40%hasbeencarriedoutwiththeabsorptivityswitchingvelocityofabout0.2607/minat900nm.Thestructuralpropertyofsampleshasbeenimprovedbutthephase-transitionpropertieshavebeendecreasedbyincreasingtheannealingtimeandannealingtemperature.ThevalenceofVionsandthestructureofsampleshavegreateffectonphasetransitionpropertiesofVO2thinfilms.Discussionontheeffectsofannealingtimeandannealingtemperatureonthephase-transitiontemperatureandhysteresiswidthshowsthatthebestreasonableannealingtimeandannealingtemperaturecanbeachieved.
标签：氧化钒薄膜相变薄膜结构

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