简介：摘要：工艺真空是集成电路生产过程中一项重要的动力源，供应侧对真空度要求达到-88kPa以上，因此对真空泵的极限真空度要求达到-100kPa，本文阐述一个在集成电路工厂中对工艺真空系统降噪改造的真实案例，旨在通过改造过程中遇到的挫折和失败分享最终成功的经验。
工艺真空系统排风降噪改造成功案例的经验分享
