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工艺真空系统排风降噪改造成功案例的经验分享

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摘要摘要：工艺真空是集成电路生产过程中一项重要的动力源，供应侧对真空度要求达到-88kPa以上，因此对真空泵的极限真空度要求达到-100kPa，本文阐述一个在集成电路工厂中对工艺真空系统降噪改造的真实案例，旨在通过改造过程中遇到的挫折和失败分享最终成功的经验。

DOI 7j6v15po0d/8233842

作者庄熙平

机构地区上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司上海 201808

出处《建筑实践》 2024年4期

关键词工艺真空排气噪音管道材质气流组织。

分类 [建筑科学][]

出版日期 2024年05月08日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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工艺真空排气噪音管道材质气流组织。

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