有为由感应的加热的一个垂直metalorganic化学药品蒸汽免职反应堆的一条戒指隧道的susceptor结构被建议。因此，热传导的方向由隧道被改变，并且隧道在susceptor做热再分配。在这susceptor的热转移的模式也被分析。另外，在susceptor的隧道的地点和尺寸用有限元素方法被优化。比较在之间优化并且常规susceptor表演优化susceptor不仅在晶片提高加热效率而且温度分发的一致性，它贡献改进电影生长的质量。[从作者抽象]
中国物理快报：英文版
2010年7期
