HfO2榆树被电子横梁蒸发在BK7玻璃底层上扔。在剩余压力和HfO2电影的结构上在100度C和400度C之间退火的影响被学习。系列，剩余压力和结构的小差别在在更低的温度退火以后被获得，这被发现。在在更高的温度退火以后，系列变到短波长，有增加退火的剩余压力增加温度。同时，雏晶尺寸增加，interplanardistance减少。光系列和剩余应力的变化对应于退火导致的结构的进化。
中国物理快报：英文版
2007年10期
