用迈克尔逊干涉仪测量单层薄膜的厚度和折射率

(整期优先)网络出版时间:1994-01-11
/ 1
薄膜厚度的测量是薄膜科学的重要分支之一,本文讨论用迈克尔逊干涉仪观察白光等厚彩色干涉条纹方法,从而确定薄膜的厚度和折射率,该方法的优点是测量精度高,原理简单,在一次测量过程中可同时确定薄膜的厚度和折射率。