随着纳米材料功能化研究的深入与纳器件制造技术的发展,大量基于纳米材料小尺寸、高灵敏度和特殊性能的新型纳米器件相继问世,并在能量转换和信息传感等新型电子器件上得到了广泛应用。因此,发展新的表征手段和测试方法,发现和揭示纳米材料与纳器件基本结构单元在服役条件下的结构与性能演变规律,进而归纳和总结纳器件服役行为成为纳米材料与器件走向应用过程中亟待解决的问题。将扫描探针显微镜（ScanningProbeMicroscopy,SPM）、扫描电子束显微镜（ScanningElectronMicroscopy,SEM）和透射电子显微镜（Transmissionelectronmicroscope,TEM）等传统表征技术与微纳加工技术、电学测量系统相结合,精确模拟纳米材料的服役条件,实现对纳米材料的结构和物性演变规律的原位研究,是揭示纳米材料的损伤与服役行为的新方法。本文重点综述近年来采用SEM和SPM表征手段下原位研究一维ZnO纳米材料在力学、电学及力电耦合效应下的损伤与服役现象、性能演变规律及损伤基本机理。
