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《温州大学学报:社会科学版》
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影响燃烧法合成金刚石薄膜的参数
影响燃烧法合成金刚石薄膜的参数
(整期优先)网络出版时间:2001-03-13
作者:
文良起;刘书华
文化科学
>高等教育学
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资料简介
制备金刚石薄膜的方法很多。本文主要介绍了影响燃烧法合成过程的主要因素及其对膜的质量的影响。研究表明,基板温度、氧/乙炔配比、基板至内焰距离等对合成的影响很大。
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制备金刚石薄膜的方法很多。本文主要介绍了影响燃烧法合成过程的主要因素及其对膜的质量的影响。研究表明,基板温度、氧/乙炔配比、基板至内焰距离等对合成的影响很大。
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