为了解决神光系列装置所需长焦透镜焦距的检测问题，在现有斐索干涉仪的基础上，对常规组合透镜方法进行了拓展，提出了双探头光栅尺法。对两种方法的工作原理及检测方法进行了分析，同时计算分析了测量数据误差对测量结果的影响，得出测量数据测量误差的上限要求。这两种方法具有测量精度高、重复性好、测量过程简单的优点，对于各类透镜焦距的检测具有重要的实用价值。
光学与光电技术
2012年4期
