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磁控溅射法制备TiO2薄膜的亲水性研究

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摘要利用磁控溅射法在不同条件下制备了玻璃基TiO2薄膜样品,分别研究了衬底温度、工作气压、氧氩比等对TiO2薄膜亲水性的影响,得到最佳工艺参数,并对此参数下薄膜的亲水性、均匀性、晶相等进行了表征。

DOI ldeqnr2nd3/1786041

作者张娇;李政晏;孟广伊;杨晓红;李双美;王为民;江翠;吉晓瑞

机构地区不详

出处《沈阳工程学院学报：自然科学版》 2017年3期

关键词 TIO2薄膜磁控溅射法润湿角亲水性

分类 [电气工程][电力系统及自动化]

出版日期 2017年03月13日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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