简介:
简介:通过在北京高能所3W1束线上进行的X光深层光刻工艺研究,获得了侧壁光滑、陡直、厚度达100μm,深宽楷比达20的光刻胶和金属微结构,表明该光束线适用于LIGA技术的研究。
简介:本文在分析了北京同步辐射室4B9B原束线低能分支的构造及弊病后,在不影响束线高能分支性能及总体机械结构的基础上提出了改进方案。文中不仅详细介绍了该设计方案,同时也介绍了97年4月份专用光开始前夕的调试工作及出光后束线的性能测试工作,测试结果完全符合设计要求。该束线在这次同步辐射专用光实验中充分发挥了改进后的优势,取得了令人满意的结果。
简介:GaAs半导体材料可以提高器件运行速度,日益引起人们的注意,但是也给器件制造者带来了许多问题。在本文个,一个全新的可应用于HEMT器件的深亚微米X射线T型栅工艺被提出来,该工艺采用三层胶方法,曝光实验是在北京同步辐射3BlA束线上进行的,并且取得了好的结果。
简介:本文介绍了BSRF4W1B束线及XAFS实验站八五改造工程的目标,主要工作,及改进后该实验系统达到的各项主要技术指标及运行状态。
简介:作为BSRF改进项目的重要内容之一,为高压科学研究专用的4W2光束线和实验站屏蔽棚屋(HUTCH)已完成设计和建造,于2002年冬季投入使用。高压站也由3WlA光束线移至4W2,对实验设备进行了重新组装和调整,并对用户提供了部分机时。在科学院知识创新重要方向性项目的支持下,同步辐射高温高压实验平台的建设正在进行,已完成了部分设备的研制与安装。新的光束线和实验站将在光源质量和设备性能上有一个很大的提高,为获得高质量的高压实验数据提供保障。
北京同步辐射装置改进项目进展情况
北京同步辐射改进项目的工程进展
LIGA技术X光深层光刻工艺研究
LIGA工艺制造微驱动马达的初步研究
4B9B束线低能分支的性能改进
全新深亚微米X射线T型栅工艺
BSRF 4W1B束线及XAFS实验站改进
高压科学研究专用光束线的建造和实验站的改进
在3W1束线上进行X光深层光刻工艺研究