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  • 简介:剑桥大学开发一种新型绝缘体上硅(SOD互补金属氧化物半导体(CMOS)热剪切应力传感器。这种传感器可以用铝或钨热膜作为传感元件进行湍流检测。该传感器在液体或空气动力学检测方面具有广泛应用前景,例如飞机或水下设备的设计。该传感器的优点有超低功耗、无线操作、快速响应、高灵敏度、vspatial分辨率为130×130微米、低成本。

  • 标签: 剪切应力传感器 互补金属氧化物半导体 应力和 流体 力学检测 绝缘体上硅
  • 简介:由于在电子剪切散斑干涉中被测物理量与光学位相直接相关,通过对干涉条纹的处理能够精确获取物体变形场的位相信息,运用相位分析方法即可导出物体在外力作用下的微小位移及形变。本文综述了电子剪切散斑干涉中条纹的位相测量方法,介绍了目前较为常用的几种相位分析方法的工作原理及实验方法,并讨论了各种方法在工程运用上的所具有的特点。

  • 标签: 剪切散斑干涉 条纹分析 位相 应用