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SEMI标准在半导体制造设备中的应用

作者：张家鹏
学科：建筑科学 > 建筑技术科学
创建时间：2024-04-17
出处：《中国科技信息》 2024年第4期
机构：120102197904080910

简介：摘要：随着半导体技术的飞速发展，SEMI标准在半导体制造设备中的应用越来越广泛。本文详细介绍了SEMI标准的基本概念、发展历程以及在半导体制造设备中的具体应用。通过对SEMI标准在材料、设备、测试及安全等方面的深入剖析，阐述了SEMI标准对于提高半导体制造效率、保证产品质量以及确保生产安全的重要性。文章还探讨了SEMI标准在半导体产业发展中的未来趋势，以及中国半导体产业应如何更好地利用SEMI标准来提升自身竞争力。
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