简介:摘要概述微机电传感器的技术现状和在IESI中的应用。通过国外典型IESI产品,着重分析了IESI的组成原理、性能特点和微机电传感器的作用。研究表明包括高精度微机电惯性敏感器、微硅压力计在内的微型传感器开发是IESI的技术关键,国产化IESI设备在军/民用飞机中有广泛的应用前景。
MEMS传感器在航空综合电子备份仪表中的应用