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  • 简介:摘要:现代化社会发展趋势下,移动终端及电子信息设备成为人们生活不可缺少的重要组成部分,在人们生产、生活中发挥着重要价值及功能。MEMS 作为信息技术与制造技术变革的重要支撑技术,它的出现推动了半导体技术的跨越式发展及实质化变革,深刻影响着科学技术、产业及经济。据此,本文以 MEMS 微继电器及关键问题进行研究,首先详尽阐释了 MEMS 内涵及特征,继而论述了现阶段 MEMS 微继电器发展的关键问题。

  • 标签: MEMS 微继电器 关键问题 研究与分析