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4 个结果
  • 简介:设计并制备了极紫外啁啾多层反射镜,利用同步辐射反射率测试装置完成了样品反射率的测试,采用单纯形算法拟合了反射率测试曲线,分析了顶层Si的氧化对拟合结果的影响。拟合结果表明,2块样品的Si-on-Mo粗糙度为0.4nm和0.5nm,Mo-on-Si粗糙度为0.8nm和0.9nm,顶层Si的氧化是影响极紫外啁啾多层反射镜反射率的重要因素。

  • 标签: 薄膜光学 啁啾多层膜反射镜 单纯形算法 亚飞秒脉冲
  • 简介:介绍了利用光干涉法动态监控厚的原理,并介绍了对生产薄膜设备和镀膜设备在工作时对厚动态检测和控制。

  • 标签: 光学薄膜 光的干涉 光程差 镀膜
  • 简介:利用SiC/Si,Mo/Si,B4C/Si,SiC/Al,Co/Mg和SiC/Mg材料对,通过单纯形算法设计了太阳成像用28.4nm周期多层反射镜,并采用遗传算法设计了具有强烈抑制30.4nm光谱线功能的28.4nm非周期多层反射镜。计算了两种反射镜在波长28.4nm处的光谱纯度,结果表明:周期多层反射镜的光谱纯度SiC/Mg最高,Mo/Si最低;而所有非周期多层反射镜都有很高的光谱纯度。

  • 标签: 薄膜光学 多层膜反射镜 太阳成像 反射率
  • 简介:根据极紫外成像器观测地球周围等离子层的要求,设计了极紫外Mg/SiC双功能多层反射镜,并分析了粗糙度、厚精度和光学常数变化对反射率的影响。结果表明:5°入射的双功能多层反射镜在30.4nm和58.4nm处的反射率分别大于41%、小于0.209/6。

  • 标签: 极紫外线 双功能多层膜反射镜 遗传算法 反射率