简介：摘要：LED 外延及芯片制造企业是技术密集型企业，产品的工艺制造过程较为复杂，其工艺控制难度较大，有多个工艺制造过程中产品的重要功能参数不能直接监测或通过其后的检验和试验完全验证，要求预先鉴定过程能力的过程（如蒸发过程等），将关键工序的数据信息转化成过程状态的信息，以便提供评定、改进和优化过程的依据，从而实现控制和降低过程波动，达到不断改进过程能力的目标，使产品实现过程始终处于受控状态，能够连续、稳定地生产高可靠的发光二极管外延及芯片产品。
LED芯片制程中统计过程控制技术的应用
