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  • 简介:通过对油扩散泵抽气速率和分子流态下气体流动理论的分析,指出油扩散泵抽空机组对不同气体的抽气速率具有选择,给出了泵对不同气体与氮气抽气速率比值的计算值和实测值,同时指出电离规常数与气体种类有关.

  • 标签: 油扩散泵 抽空机组 抽气速率 选择作用 氮气 电离规常数